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本发明公开一种加工装置，包括加工部、致动器、壳、预载荷机构、力传感器和检测单元。加工部包括切割刃。致动器被配置为使加工部轻微地振动。壳被配置为容纳致动器。预载荷机构设置在壳内并被配置为向致动器施加预载荷。力传感器设置在切割刃和预载荷机构之间...
该专利属于株式会社东北宏桥技术;索尼株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东北宏桥技术;索尼株式会社授权不得商用。

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