多频率原子力显微镜制造技术

公开了一种用于提取原子力显微镜中和相关的ＭＥＭｓ工作中摆动悬臂或其他摆动传感器中的承载在更高本征模式或谐波中的信息的设备和技术。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多频率原子力显微镜相关申请的交叉参考木屮请耍求2006年4月25日提交的美国临吋申请No. 60/795,151、 2006年6月5日提交的美国临吋申请No. 60/811,264以及2006年8月24曰 提交的美国临吋申请No. 60/839，749的优先权，这些申请的全部内容作 为参考结合于此。引用的对比文4牛美国专利文件RE36488 2000年1月Minne等RE36488 2000年1月Elings等Re. 33937 1995年5月Schubert54442441995年8月Kirk等54777321995年12月Yasue等54838222001年1月Albrecht等55030101996年4月Yamanaka55192121995年5月Elings等55192121996年5月Bayer等56463391997年7月Bayer等56463391997年7月Minne等57423771998年4月Han等57423771998年4月Minne等57637681996年6月Henderson等58047081998年9月Yamanaka等58668051999年2月Muramatsu等58668051999年2月H肌等58774121999年3月Minne等58837051999年3月Elings等359248451999年7月Bagley等5994820]999年11月Kleindiek60065931999年12月60518332000年4月Yasutak660755852000年6月Binning等60755852000年6月■Minne等60792552000年6月Thomson等62490002001年6月Muramatsu等62987152001年10月Fretigny等62987152001年10月Thomson等63495912002年2月Zypman等63495912002年2月Fretigny等64521702002年9月Kendall64521702002年9月Zypman等64657822002年10月Israelachvili65784102003年6月Howald等67676962004年7月Sahin等68803862005年4月Krotil等69351672005年8月70897872006年8月Sahin等其他出版物T. Drobek, R. W. Stark,和W. M. Heckl， Physical Review B 64， 045401/1-5 (2001). F. Krause, F. Kaisinger, H. Starke, G. Persch，禾卩U. Hartmann, Thin Solid Films 264， 141-7 (1995).R. W. Stark， T. Drobek,禾卩W. M. Heckl, Applied Physics Letters 74， 3296-8 (1999).T. Drobek, R. W. Stark,禾卩W. M. Heckl, Physical Review B 6404 (2001). R. W. Stark, G. Schitter, M. Stark， R. Guckenberger,禾卩A. Stemmer, Physical Review B 69 (2004).4R. W. Stark和W. M. Heckl， Surface Science 457， 219-228 (2000).R. W. Stark, Nanotechnology 15， 347-351 (2004).R. W. Stark, G. Schitter,禾H A. Stemmer, Physical Review B 68 (2003).M. Stark， R. W. Stark， W. M. Heckl，禾卩R. Guckenberger, Proceedings ofthe National Academy of Sciences of the United States of America 99，8473-8478 (2002).J. D. Batteas， A. N. Round, B. Yan, S. Dang， II. Estephan,禾ll R. E. Stark, Abstracts of Papers of the American Chemical Society 221， U343-U343 (2001).M. Stark, R. W. Stark, W. M. IIeckl，和R. Guckenberger, Applied Physics Letters 77, 3293-3295 (2000).M Stark禾卩 R. Guckenberger, Review of Scientific Instruments 70， 3614-3619 (1999).R. Szoszkiewicz, A. J. Kulik，禾卩 G. Gremaud, Journal of Chemical Physics 122 (2005).O. Matsuda， T. Terada， K. Inagaki，禾卩O. B. Wright, Japanese Journal of Applied Physics Part 1 -Regular Papers Short Notes & Review Papers 41 ， 3545- 3546 (2002).K. Inagaki, O. Matsuda,禾卩O. B. Wright, Applied Physics Letters 80， 2386-2388 (2002).A. P. McGuigan, B. D. Huey, G. A. D. Briggs， O. V. Kolosov, Y, Tsukahara,和M. Yanaka， Applied Physics Letters 80， 1180-1182 (2002). M. T. Cuberes, G. A. D. Briggs, and O. Kolosov, Nanotechnology 12， 53-59 (2001).M. T. Cuberes, H. E. Assender， G, A. D, Briggs，禾卩O. V. Kolosov,Journal of Physics D-Applied Physics 33， 2347-2355 (2000).U. Rabe， V. Scherer， S. Hirsekorn,禾口 W. Arnold, Journal of VacuumScience & Technology B 15， 1506-1511 (1997).K. Yamanaka， H. Ogiso,禾卩O, Kolosov, Applied Physics Letters 64，178-180(1994).J. Tamayo, L. Gonzalez, Y. GonzaLez,禾口 R. Garcia, Applied Physics Let本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种操作原子力显微镜的方法，包括：　以自由振幅Ａ↓［１０］在悬臂的共振频率下或共振频率附近激励该悬臂的探针尖端，所述自由振幅Ａ↓［１０］足够小以使得所述悬臂将在不接触的情况下与样本表面相互作用；　减小所述悬臂的基座和所述样本表面 之间Ｚ方向上的相对距离以使得所检测到的所述悬臂的第一本征模式的振幅Ａ↓［１］受所述样本表面近端的影响；　使用反馈回路来控制所述悬臂的基座和所述样本表面之间的距离以使得当通过在所述悬臂的探针尖端和所述样本之间形成相对移动而扫描所述样本时 ，所述悬臂的第一本征模式的振幅Ａ↓［１］维持在基本恒值；　以振幅Ａ↓［２］在所述悬臂的第二本征模式下或第二本征模式附近激励所述悬臂的探针尖端，同时保持第一本征模式驱动和所述反馈回路为相同值；　调节所检测到的所述悬臂的所述第二本征 模式的振幅Ａ↓［２］直至所述振幅表示所述第二本征模式以处于支配地位的排斥力与所述样本表面相互作用；　允许所述悬臂的所述第二本征模式的振幅Ａ↓［２］在较大数值范围内变化，同时不包括作为所述反馈回路的输入的所述振幅；以及　测量所述悬 臂的第一本征模式和第二本征模式的振幅和相位。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：R普若克斯，
申请(专利权)人：额塞勒姆研究公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]