多频率原子力显微镜制造技术

技术编号:879114 阅读:344 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
公开了一种用于提取原子力显微镜中和相关的MEMs工作中摆动悬臂或其他摆动传感器中的承载在更高本征模式或谐波中的信息的设备和技术。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】多频率原子力显微镜相关申请的交叉参考木屮请耍求2006年4月25日提交的美国临吋申请No. 60/795,151、 2006年6月5日提交的美国临吋申请No. 60/811,264以及2006年8月24曰 提交的美国临吋申请No. 60/839,749的优先权,这些申请的全部内容作 为参考结合于此。引用的对比文4牛美国专利文件RE36488 2000年1月Minne等RE36488 2000年1月Elings等Re. 33937 1995年5月Schubert54442441995年8月Kirk等54777321995年12月Yasue等54838222001年1月Albrecht等55030101996年4月Yamanaka55192121995年5月Elings等55192121996年5月Bayer等56463391997年7月Bayer等56463391997年7月Minne等57423771998年4月Han等57423771998年4月Minne等57637681996年6月Henderson等58047081998年9月Yamanaka等58668051999年2月Mur本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种操作原子力显微镜的方法,包括: 以自由振幅A↓[10]在悬臂的共振频率下或共振频率附近激励该悬臂的探针尖端,所述自由振幅A↓[10]足够小以使得所述悬臂将在不接触的情况下与样本表面相互作用; 减小所述悬臂的基座和所述样本表面 之间Z方向上的相对距离以使得所检测到的所述悬臂的第一本征模式的振幅A↓[1]受所述样本表面近端的影响; 使用反馈回路来控制所述悬臂的基座和所述样本表面之间的距离以使得当通过在所述悬臂的探针尖端和所述样本之间形成相对移动而扫描所述样本时 ,所述悬臂的第一本征模式的振幅A↓[1]维持在基本恒值; 以振幅A↓[2]在所述悬臂的第二本征模式下或...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:R普若克斯
申请(专利权)人:额塞勒姆研究公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1