一种激光切割机的防护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种激光切割机的防护装置，包括至少一侧面挡板，所述侧面挡板上固定设置至少一滑轮和至少一直角支架；一激光切割机底板上设置与所述侧面单板匹配的凹槽，所述侧面挡板可滑动的卡接在所述凹槽内，所述滑轮随着所述侧面挡板在所述激光切割机底板上滚动，所述直角支架贴合所述激光切割机底板随所述侧面挡板滑动，即通过在机关切割机外围设置可移动的遮挡激光的装置，能有效的缩小激光折射的范围，从而降低对人体造成的伤害，且有效的促进了失效分析工作的发展。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体集成电路及其制造领域，尤其涉及一种激光切割机的防护>J-U ρ α装直。
技术介绍
由于激光具有亮度强和能量密度大等特点，从而对人体的眼睛和皮肤均有伤害。(I)对眼睛的伤害:因为激光束能通过眼自身的屈光系统在视网膜上聚焦成一个非常小的光斑，使光能高度集中而导致灼伤，如烧伤生物组织，尤其是视网膜的灼伤最为常见；而处在红外区或微波区的激光辐射由于被虹膜或晶体吸收而造成热损伤，从而导致虹膜炎和白内障等眼科疾病。激光对眼睛的伤害与其波长、脉冲宽度、间隙时间、光束能量、入射角度、受照组织特性等因素有关。(2)对皮肤的伤害:激光对皮肤的伤害过程表现为轻度红斑、灼烧直至组织炭化坏死，此外亦可损伤色素细胞，引起毛细栓塞，有时可见血管破溃和溢血。现今半导体芯片制造业中，失效分析实验室的12英寸激光切割机从物镜最底端到地面的距离约为1.2-1.3米，但是目前还没有任何的防护措施来预防激光对人体造成的伤害。由于12英寸激光切割机主要采用的是绿光和紫外光，其损害皮肤的严重程度是由皮肤对激光吸收率决定的，而皮肤对激光的吸收率由激光的波长所决定，即皮肤对某波长激光的吸收率越高，受到的损伤也越严重。如皮肤对紫外激光的吸收率很高时，这类激光就是损伤皮肤的主要波段激光。 在紫外激光照射皮肤时可以引起皮肤红斑、老化，过量时严重的致癌变，对皮肤危害性最大的紫外光波在270 290nm，波长比270 290nm大的或小的其危害程度都相对地减少。而当实验室人员在操作12英寸激光切割机时，激光会打在样品上后折射出来形成一个激光折射区域(即物镜到载物台区域)，若无任何防护措施，将对人体产生一定的伤害。
技术实现思路
本技术公开了一种激光切割机的防护装置，其中，至少一侧面挡板,所述侧面挡板上固定设置至少一滑轮和至少一直角支架；一激光切割机底板上设置与所述侧面单板匹配的凹槽，所述侧面挡板可滑动的卡接在所述凹槽内，所述滑轮随着所述侧面挡板在所述激光切割机底板上滚动，所述直角支架贴合所述激光切割机底板随所述侧面挡板滑动。上述的激光切割机的防护装置，其中，所述侧面挡板与所述激光切割机底板垂直的端面上还设置一沿该端面开合的门板。上述的激光切割机的防护装置，其中，所述门板上还设置一小门。上述的激光切割机的防护装置，其中，所述侧面挡板的高度大于150_。上述的激光切割机的防护装置，其中，所述凹槽的长度大于所述侧面挡板的长度，凹槽宽度大于侧面挡板厚度。上述的激光切割机的防护装置，其中，所述侧面挡板的长端面与所述凹槽卡接。上述的激光切割机的防护装置，其中，所述门板的高度大于所述侧面挡板的高度，厚度和所述侧面挡板的厚度一样。上述的激光切割机的防护装置，其中，所述直角支架的高度小于所述侧面挡板的高度，厚度大于所述侧面挡板的厚度。上述的激光切割机的防护装置，其中，所述滑轮的半径为IOmm,宽5mm。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术提出一种激光切割机的防护装置，通过在机关切割机外围设置可移动的遮挡激光的装置，能有效的缩小激光折射的范围，从而降低对人体造成的伤害，且有效的促进了失效分析工作的发展。附图说明 图1-3是本技术激光切割机的防护装置中针对大样品的结构示意图；图4-6是本技术激光切割机的防护装置中针对小样品的结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明:图1-3是本技术激光切割机的防护装置中针对大样品的结构示意图；图4-6是本技术激光切割机的防护装置中针对小样品的结构示意图。如图1-6所示，本技术一种激光切割机的防护装置，在切割机底板I上设置长度为320mm、宽为3mm的两个凹槽2,高度为160mm、长度为320mm、厚度为2mm的两侧面板3的长端面可滑动的分别一一卡接在凹槽2内，两高度为90mm、厚度为5mm的直角支架6的长板面分别固定在两侧面板3上，直角支架6的另一板面则贴合切割机底板I的表面随侧面板3滑动，以保障侧面板3在移动的时候垂直切割机底板I的表面沿沟槽2移动，半径为10mm、宽5mm的两滑轮5分别固定设置在两侧面板3上，以随侧面板3沿凹槽2在切割机底板I上滚动，保障侧面板3在移动的时候垂直切割机底板I的表面沿沟槽2移动；每个侧面板3的高端面上还设置有长度为200mm、高度为170mm、厚度为2mm门板4，并沿该高端面进行开合。进一步的，门板4还设置一和切割机底板I上凸起7形状匹配的小门8.其中，侧面挡板3、门板4和小门8用以遮挡激光的放射和散射。具体的，如图1-3所示，当进行大样品如12英寸晶圆片切割时，关闭两门板4及小门8，即将切割机放置在调节好的两侧面挡板3、两门板4与小门8形成的半封闭空间内进行激光切割工艺，由于两侧面挡板3、两门板4与小门8能有效遮挡大部分的外泄激光，缩小激光折射范围，降低激光对人体的危害程度。如图4-6所示，当进行小样品如硅片微切割机(SELA)制备的样品或用于聚焦离子束(Focus 1n Beam，简称FIB)的样品切割时，通过滑轮5移动侧面挡板3形成较小的半封闭式空间，进而能进一步锁定并缩小激光折射范围，降低激光对人体的危害程度。进一步的，设置在门板4上的小门8则能保证侧面板3移动后，门板4能不被切割机底板I栅的凸起7所阻挡，而正常闭合，避免激光外泄。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术提出一种激光切割机的防护装置，通过在机关切割机外围设置可移动的遮挡激光的装置，能有效的缩小激光折射的范围，从而降低对人体造成的伤害，且有效的促进了失效分析工作的发展。通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本技术精神，还可作其他的转换。尽管上述技术提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本技术的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本技术的意图和范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光切割机的防护装置，其特征在于，至少一侧面挡板，所述侧面挡板上固定设置至少一滑轮和至少一直角支架；一激光切割机底板上设置与所述侧面单板匹配的凹槽，所述侧面挡板可滑动的卡接在所述凹槽内，所述滑轮随着所述侧面挡板在所述激光切割机底板上滚动，所述直角支架贴合所述激光切割机底板随所述侧面挡板滑动。

【技术特征摘要】
1.一种激光切割机的防护装置，其特征在于， 至少一侧面挡板，所述侧面挡板上固定设置至少一滑轮和至少一直角支架； 一激光切割机底板上设置与所述侧面单板匹配的凹槽，所述侧面挡板可滑动的卡接在所述凹槽内，所述滑轮随着所述侧面挡板在所述激光切割机底板上滚动，所述直角支架贴合所述激光切割机底板随所述侧面挡板滑动。2.根据权利要求1所述的激光切割机的防护装置，其特征在于，所述侧面挡板与所述激光切割机底板垂直的端面上还设置一沿该端面开合的门板。3.根据权利要求2所述的激光切割机的防护装置，其特征在于，所述门板上还设置一小门。4.根据权利要求1-3中任意一项所述的激光切割机的防护装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙蓓瑶，唐涌耀，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：