一种激光切割机的防护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种激光切割机的防护装置，包括至少一侧面挡板，所述侧面挡板上固定设置至少一滑轮和至少一直角支架；一激光切割机底板上设置与所述侧面单板匹配的凹槽，所述侧面挡板可滑动的卡接在所述凹槽内，所述滑轮随着所述侧面挡板在所述激光切割机底板上滚动，所述直角支架贴合所述激光切割机底板随所述侧面挡板滑动，即通过在机关切割机外围设置可移动的遮挡激光的装置，能有效的缩小激光折射的范围，从而降低对人体造成的伤害，且有效的促进了失效分析工作的发展。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体集成电路及其制造领域，尤其涉及一种激光切割机的防护>J-U ρ α装直。
技术介绍
由于激光具有亮度强和能量密度大等特点，从而对人体的眼睛和皮肤均有伤害。(I)对眼睛的伤害:因为激光束能通过眼自身的屈光系统在视网膜上聚焦成一个非常小的光斑，使光能高度集中而导致灼伤，如烧伤生物组织，尤其是视网膜的灼伤最为常见；而处在红外区或微波区的激光辐射由于被虹膜或晶体吸收而造成热损伤，从而导致虹膜炎和白内障等眼科疾病。激光对眼睛的伤害与其波长、脉冲宽度、间隙时间、光束能量、入射角度、受照组织特性等因素有关。(2)对皮肤的伤害:激光对皮肤的伤害过程表现为轻度红斑、灼烧直至组织炭化坏死，此外亦可损伤色素细胞，引起毛细栓塞，有时可见血管破溃和溢血。现今半导体芯片制造业中，失效分析实验室的12英寸激光切割机从物镜最底端到地面的距离约为1.2-1.3米，但是目前还没有任何的防护措施来预防激光对人体造成的伤害。由于12英寸激光切割机主要采用的是绿光和紫外光，其损害皮肤的严重程度是由皮肤对激光吸收率决定的，而皮肤对激光的吸收率由激光的波长所决定，即皮肤对某波长激光的吸收率越高，受到的损伤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光切割机的防护装置，其特征在于，至少一侧面挡板，所述侧面挡板上固定设置至少一滑轮和至少一直角支架；一激光切割机底板上设置与所述侧面单板匹配的凹槽，所述侧面挡板可滑动的卡接在所述凹槽内，所述滑轮随着所述侧面挡板在所述激光切割机底板上滚动，所述直角支架贴合所述激光切割机底板随所述侧面挡板滑动。

【技术特征摘要】
1.一种激光切割机的防护装置，其特征在于， 至少一侧面挡板，所述侧面挡板上固定设置至少一滑轮和至少一直角支架； 一激光切割机底板上设置与所述侧面单板匹配的凹槽，所述侧面挡板可滑动的卡接在所述凹槽内，所述滑轮随着所述侧面挡板在所述激光切割机底板上滚动，所述直角支架贴合所述激光切割机底板随所述侧面挡板滑动。2.根据权利要求1所述的激光切割机的防护装置，其特征在于，所述侧面挡板与所述激光切割机底板垂直的端面上还设置一沿该端面开合的门板。3.根据权利要求2所述的激光切割机的防护装置，其特征在于，所述门板上还设置一小门。4.根据权利要求1-3中任意一项所述的激光切割机的防护装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙蓓瑶，唐涌耀，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
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