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本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种激光切割机的防护装置，包括至少一侧面挡板，所述侧面挡板上固定设置至少一滑轮和至少一直角支架；一激光切割机底板上设置与所述侧面单板匹配的凹槽，所述侧面挡板可滑动的卡接在所述凹槽内，所述滑轮随着所述侧面...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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