一种真空泵除尘装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空泵除尘装置，用于单晶炉，包括除尘桶，所述除尘桶上设置有进气口和出气口，所述除尘桶中设置有多个内部出气管，多个所述内部出气管均与所述出气口连通，每个所述内部出气管上均套设有滤芯。通过在除尘桶中设置多个内部出气管和套设在内部出气管上的滤芯，有效的增大了过滤面积，提高了过滤效果，更多的杂质被过滤在了滤芯上，同时，多个内部出气管和滤芯的设置，使得除尘桶内的各个部位的气体能够同时得到过滤，有效过滤范围增大，也能提高过滤效果，更少的杂质进入到真空泵中，从而实现真空泵使用寿命的延长。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空泵除尘
，尤其涉及一种真空泵除尘装置。
技术介绍
单晶炉是一种拉制单晶棒的设备，单晶炉使用的真空泵有干泵，是一种用来抽气的泵，此种泵不用油，还有油泵，是一种使用泵油的抽气泵。单晶炉的排气对于拉晶至关重要，所以要再保证排气通畅的情况下对抽出的气体进行过滤，防止更多的杂质进入到单晶炉配备的真空泵内，对于单晶炉配备的真空泵有干式的干泵，还有油泵，无论是哪种泵体，都要保证杂质被吸进泵体内的越少越好，干泵能保证其使用寿命，油泵换油的次数将有所延长，所以就要求过滤效果好且不能对单晶炉排气有影响的过滤装置，目前使用的过滤装置不能有效的过滤杂质，真空泵保养周期特别短，运行一段时间就需要保养清理一次，既影响生产，费用也极高。因此，如何提供一种真空泵除尘装置，以实现真空泵使用寿命的延长，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种真空泵除尘装置，以实现真空泵使用寿命的延长。为了达到上述目的，本技术提供如下技术方案:—种真空泵除尘装置，用于单晶炉，包括除尘桶，所述除尘桶上设置有进气口和出气口，所述除尘桶中设置有多个内部出气管，多个所述内部出气管均本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空泵除尘装置，用于单晶炉，其特征在于，包括除尘桶，所述除尘桶上设置有进气口和出气口，所述除尘桶中设置有多个内部出气管，多个所述内部出气管均与所述出气口连通，每个所述内部出气管上均套设有滤芯。

【技术特征摘要】
1.一种真空泵除尘装置，用于单晶炉，其特征在于，包括除尘桶，所述除尘桶上设置有进气口和出气口，所述除尘桶中设置有多个内部出气管，多个所述内部出气管均与所述出气口连通，每个所述内部出气管上均套设有滤芯。2.根据权利要求1所述的真空泵除尘装置，其特征在于，多个所述内...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永辉，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：