硅单晶生长尾气排放用过滤筒制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，包括圆柱形筒体，所述筒体设置有内腔，所述筒体设置有允许废气进入内腔的第一通孔，所述第一通孔与内腔连通；所述内腔内设置有圆柱形滤芯。本实用新型专利技术中的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，废气进入内腔时不是正对滤芯进入，因此可形成环绕滤芯的气流。在废气环绕滤芯流动过程中也会沿滤芯轴向流动，因此可增加滤芯的有效利用面积。有效利用面积大，可延长滤芯的因堵塞而需要更换或清洗的使用时间，降低生产成本。使用本实用新型专利技术中的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，过滤效果好，硅单晶生产良率高，可达到73%以上。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种硅单晶生长尾气排放用过滤筒。
技术介绍
硅单晶晶棒拉制过程中会产生废气。废气中含有大量的氧化物及碳化物等杂质颗粒。在连续生产线生产过程中，废气需要不间断的排出。由于硅单晶生长产生的废气颗粒会降低抽气真空泵的性能，因此需要经过滤后再排放。其中一种过滤器，其筒体内采用两个或两个以上的滤芯并列设置，筒体的进口与径向相同，废气进入内腔后直接吹向滤芯并经滤芯过滤后排出。由于废气直接吹向滤芯，因此仅靠近进口附近的滤芯可以有效利用，导致滤芯利用面积小、过滤效果差。其另一个弊端是由于可有效利用的仅是靠近进口附近的滤芯，容易导致滤芯堵塞。滤芯堵塞会降低废气的流通速度。废气流通速度低则严重降低硅单晶的成晶率。成晶率低，则良率低。因此，利用此种过滤筒生产硅单晶时的良率非常低，仅有50%。另外，容易堵塞还会降低滤芯的有效利用率、缩短更换时间，增加生产成本。每个过滤筒内的滤芯使用时间仅有20小时。通过观察安装在硅单晶炉与过滤筒之间的蝶阀的开度大小，可以判断过滤筒是否堵塞。常用的过滤筒使用过程中，硅单晶炉、碟阀、过滤筒及真空泵依次联通。蝶阀安装在过滤筒与硅单晶炉之间。通过控制蝶阀开度大小，可以控本文档来自技高网...

【技术保护点】
硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，包括圆柱形筒体，所述筒体设置有内腔，所述筒体设置有允许废气进入内腔的第一通孔，所述第一通孔与内腔连通；所述内腔内设置有圆柱形滤芯。

【技术特征摘要】
1.硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，包括圆柱形筒体，所述筒体设置有内腔，所述筒体设置有允许废气进入内腔的第一通孔，所述第一通孔与内腔连通；所述内腔内设置有圆柱形滤芯。2.根据权利要求1所述的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，所述滤芯与筒体同轴设置。3.根据权利要求1或2所述的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，所述的筒体内设置有一个滤芯。4.根据权利要求1所述的硅单晶生长尾气排放用过滤筒，其特征在于，所述第一通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩建超，袁美君，
申请(专利权)人：上海合晶硅材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：