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本实用新型公开了一种真空泵除尘装置，用于单晶炉，包括除尘桶，所述除尘桶上设置有进气口和出气口，所述除尘桶中设置有多个内部出气管，多个所述内部出气管均与所述出气口连通，每个所述内部出气管上均套设有滤芯。通过在除尘桶中设置多个内部出气管和套设在...
该专利属于英利能源（中国）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英利能源（中国）有限公司授权不得商用。

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