差分式声表面波温度传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种差分式声表面波温度传感器，包括壳体、壳盖、压电基片、第一声表面波谐振器和第二声表面波谐振器，所述压电基片固定在壳体内的底部，所述壳体和壳盖密封连接，其创新点在于：还包括第一压电薄膜，所述第一声表面波谐振器设在压电基片的表面，而第一压电薄膜设在压电基片的剩余表面和第一声表面波谐振器的表面以及外周之上，所述第二声表面波谐振器设在第一压电薄膜的表面。本发明专利技术具有结构紧凑、测量精度高，而且生产成本低等优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种差分式声表面波温度传感器，包括壳体（1）、壳盖（2）、压电基片（3）、第一声表面波谐振器（4）和第二声表面波谐振器（6），所述压电基片（3）固定在壳体（1）内的底部，所述壳体（1）和壳盖（2）密封连接，其特征在于：还包括第一压电薄膜（5），所述第一声表面波谐振器（4）设在压电基片（3）的表面，而第一压电薄膜（5）设在压电基片（3）的剩余表面和第一声表面波谐振器（4）的表面以及外周之上，所述第二声表面波谐振器（6）设在第一压电薄膜（5）的表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈卓辉，刘文，高翔，
申请(专利权)人：常州智梭传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：