【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种声表面波(Surface Acoustic Wave, SAW)温度传感器,尤其是一种能够同时实现抗环境噪声和电磁干扰的声表面波温度传感器。
技术介绍
目前，公知的SAW温度传感器构造包括单一声表面波器件，声表面波器件包括谐振器结构和延迟线结构，具体包括压电基片、基片上放置SAW叉指换能器、反射栅组成。工作情况下SAW器件接触测温点，由于热胀冷缩，导致SAW器件芯片频率发生漂移，从而根据测量频率漂移，得到待测温度点的温度。如文章《仪器仪表学报》2003年8月第 24 期第 4 卷 PP403-405 和文章 1981 ((ULTRASONICS SYMPOSIUM )) PP148-151 所述，SAW 器件频率漂移和温度在合适的欧拉角情况下，可以实现线性的频率一温度关系，线性单调温度系数报道的有_9(T32ppm。又如专利申请200910101086. 6和201110302933. 2，美国 Sengenuity公司产品所述(见www. visensor. com),制作单一 SAW器件,通过监测SAW器件的频率变化得到待测点的温度信息。上...
【技术保护点】
声表面波温度传感器，包括设置在基座上的两个以上SAW器件，所述SAW器件分别包括压电基片和设置在压电基片上的叉指换能器和反射栅条，其特征在于，所述任意两个SAW器件的压电基片的温度系数不同；所述SAW器件的压电基片的频率和温度成单调或者线性的关系，任意两个SAW器件的压电基片的频率差不为零，根据任意两个SAW器件的压电基片的频率差得到声表面波传感器探测到的温度。
【技术特征摘要】
1.声表面波温度传感器，包括设置在基座上的两个以上SAW器件，所述SAW器件分别包括压电基片和设置在压电基片上的叉指换能器和反射栅条，其特征在于，所述任意两个SAW 器件的压电基片的温度系数不同；所述SAW器件的压电基片的频率和温度成单调或者线性的关系，任意两个SAW器件的压电基片的频率差不为零，根据任意两个SAW器件的压电基片的频率差得到声表面波传感器探测到的温度。2.根据权利要求I所述的声表面波温度传感器，其特征在于，所述SAW器件采用叉指换能器和反射栅条混合设置的谐振结构。3.根据权利要求2所述的声表面波温度传感器，其特征在于，所述声表面波温度传感器包括三个SAW器件，所述三个SAW器件的压电基片分别是第一压电基片、第二压电基片和第三压电基片；第一压电基片设置为128° YX_LiNb03，其线性温度系数约_90ppm/°C， 谐振频率为第一频率fl ;第二压电基片设置为JCL石英，切角为0° ,42. 1°，39°，线性温度系数约-22ppm/°C，谐振频率为第二频率f2 ;第三基片是LST石英，切角为11.4°， 39.4。，35。，线性温度系数约-33ppm/°C，谐振频率为第三频率f3 ;|fl-f2|，| fl_f3 |，f 2-f 3 依次正比于 _68ppm/°C，_57ppm/°C, llppm/°C。4.根据权利要求I所述的声表面波温度传感器，其特征在于，所述SAW器件采用叉指换能器和反射栅条分离设置的延...
【专利技术属性】
技术研发人员：李强，李红浪，
申请(专利权)人：中科微声天津传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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