柔性衬底处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的一个方式提供一种柔性衬底处理装置，该柔性衬底处理装置能够对形成在柔性衬底上的膜状结构体所包含的氧化物稳定地进行还原处理。上述装置结构包括：发送形成有膜状结构体的柔性衬底的衬底搬出部；将形成在柔性衬底上的膜状结构体所包含的氧化物电化学还原的还原部；洗涤柔性衬底及膜状结构体的洗涤部；使柔性衬底及膜状结构体干燥的干燥部；以及卷起形成有膜状结构体的柔性衬底的衬底搬入部。

【技术实现步骤摘要】
柔性衬底处理装置
本专利技术涉及一种柔性衬底处理装置。
技术介绍
近年来，作为具有优异的导电性、柔性及机械强度的电子材料，作为碳材料之一的石墨烯引人注目，而正在研究将石墨烯应用于各种产品。例如，将石墨烯应用于锂二次电池及锂离子电容器等蓄电装置也是一个实例。通过用石墨烯覆盖该蓄电装置的电极或将石墨烯混合到该蓄电装置的电极，可以提高该电极的导电性。作为石墨烯的制造方法的一个实例，专利文献1公开了在存在碱的状态下将氧化石墨还原的方法。作为形成该氧化石墨的方法，可以举出：将硫酸、硝酸及氯酸钾用作氧化剂的方法；将硫酸及过锰酸钾用作氧化剂的方法；以及将氯酸钾及发烟硝酸用作氧化剂的方法等。对包含通过上述方法得到的氧化石墨的液体进行超声波处理或搅拌来剥离氧化石墨，而形成氧化石墨烯。接着，通过在存在碱的状态下进行氧化石墨烯的还原处理，可以生成石墨烯。另外，也可以通过进行加热处理将氧化石墨烯还原成石墨烯。[专利文献1]日本专利申请公开2011-500488号公报通过氧化石墨烯的还原生成的石墨烯的导电性根据构成该石墨烯的碳原子的键合状态而不同，即碳的sp2键（双键）的比率越高，导电性越高。另外，从生产率的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性衬底处理装置，包括：包括第一退绕机构的衬底搬出部，该第一退绕机构设置有缠绕着柔性衬底的第一筒管；还原处理部，该还原处理部包括容纳有电解液的第一槽、在所述第一槽中与所述柔性衬底平行的第一电极及使所述柔性衬底浸渍在所述电解液中的第一辊；包括第二槽的洗涤部，该第二槽容纳有洗涤液及以使所述柔性衬底浸渍在所述洗涤液中的方式支撑所述柔性衬底的第二辊；包括第一干燥单元的干燥部；以及包括卷绕机构的衬底搬入部，该卷绕机构设置有卷起所述柔性衬底的第二筒管，其中，在柔性衬底的搬送路径中，依次组合有所述衬底搬出部、所述还原处理部、所述洗涤部、所述干燥部及所述衬底搬入部。

【技术特征摘要】
2011.11.25 JP 2011-2577451.一种用柔性衬底处理装置将氧化石墨烯还原形成石墨烯的方法，该柔性衬底处理装置包括：包括退绕机构的衬底搬出部，该退绕机构设置有缠绕着柔性衬底的第一筒管；还原处理部，该还原处理部包括容纳有电解液的第一槽、在所述第一槽中与所述柔性衬底平行的第一电极及使所述柔性衬底浸渍在所述电解液中的第一辊；包括第二槽的洗涤部，该第二槽容纳有洗涤液及以使所述柔性衬底浸渍在所述洗涤液中的方式支撑所述柔性衬底的第二辊；包括干燥单元的干燥部；以及包括卷绕机构的衬底搬入部，该卷绕机构设置有卷起所述柔性衬底的第二筒管，其中，所述第一筒管、所述第二筒管、所述第一辊和所述第二辊中的一个或多个用作第二电极，所述方法包括如下步骤：使所述柔性衬底与所述第一筒管接触并在衬底搬出部中将所述柔性衬底卷起；将所述柔性衬底及所述第一电极浸渍到所述第一槽中的所述电解液中；通过向所述第二电极供应特定电位使所述柔性衬底的电位与所述第二电极的电位相同，将形成在所述柔性衬底上的膜状结构体所包含的氧化石墨烯还原来形成石墨烯；在所述第二槽中洗涤所述膜状结构体及所述柔性衬底；用所述干燥部中的干...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥实，斋藤祐美子，桃纯平，森若圭恵，楠本直人，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：