【技术实现步骤摘要】
物品输送设备
本专利技术涉及一种物品输送设备,所述物品输送设备在顶棚侧设有形成物品输送车的行进路径的行进导引部件,通过上述行进导引部件以沿路径横宽方向排列的状态形成上述物品输送车朝向相同的方向行进的多个上述行进路径,并且形成有将多个上述行进路径的相邻的一对行进路径中的一个即第1行进路径与另一个即第2行进路径连接的第1分支路径及第2分支路径。
技术介绍
上述那样的物品输送设备例如设在清洁室内的顶棚部,为了将收存硅基板等基板的收存容器作为物品输送而使用。即,例如,多个行进路径的一个以经由对基板进行多种处理的多个基板处理装置的运入运出部的状态配设,物品输送车将物品相对于多个基板处理装置输送。并且,即使在一个行进路径上行进的物品输送车停止在与基板处理装置的运入运出部对应的部位,后续的物品输送车也能够通过在别的行进路径上行进而超过停止的物品输送车。然后,该后续的物品输送车通过从该别的行进路径分支而行进到经由多个基板处理装置的运入运出部的一个行进路径上,能够进行物品的输送。顺便说一下,物品输送车具备升降自如的物品把持部,当对基板处理装置的运入运出部移载物品时,在停止在与基板处理装置的运入运出部对应的部位的状态下,使物品把持部升降。在特开2006-282303号公报(专利文献1)中,公开了这样的物品输送设备的一例,在该物品输送设备中,第1分支路径和第2分支路径在俯视下在相邻的一对行进路径的长度方向上设在不同的部位。顺便说一下,在该专利文献1中,例示了相邻的一对行进路径中的一个行进路径以经由两个基板处理装置的运入运出部的状态设置。这里,如果设该一个行进路径为第1行进路径, ...
【技术保护点】
一种物品输送设备,?具备行进导引部件,所述行进导引部件设在顶棚侧,形成物品输送车的行进路径;这里,上述行进导引部件在沿路径横宽方向排列的状态下形成上述物品输送车朝向相同的方向行进的多个上述行进路径,并且形成将多个上述行进路径的相邻的一对行进路径中的一个即第1行进路径与另一个即第2行进路径连接的第1分支路径及第2分支路径;上述第1分支路径是上述物品输送车从上述第1行进路径向上述第2行进路径分支行进的分支路径,上述第2分支路径是上述物品输送车从上述第2行进路径向上述第1行进路径分支行进的分支路径;上述第1分支路径和上述第2分支路径以在俯视中在相对于上述第1行进路径及上述第2行进路径倾斜的方向上延伸的方式形成;其特征在于,上述第1分支路径与上述第2分支路径以在俯视中相互交叉的方式形成。
【技术特征摘要】
2011.11.24 JP 2011-2565931.一种物品输送设备,具备行进导引部件,所述行进导引部件设在顶棚侧,形成物品输送车的行进路径;这里,上述行进导引部件在沿路径横宽方向排列的状态下形成上述物品输送车朝向相同的方向行进的多个上述行进路径,并且形成将多个上述行进路径的相邻的一对行进路径中的一个即第1行进路径与另一个即第2行进路径连接的第1分支路径及第2分支路径;上述第1分支路径是上述物品输送车从上述第1行进路径向上述第2行进路径分支行进的分支路径,上述第2分支路径是上述物品输送车从上述第2行进路径向上述第1行进路径分支行进的分支路径;上述第1分支路径和上述第2分支路径以在俯视中在相对于上述第1行进路径及上述第2行进路径倾斜的方向上延伸的方式形成;其特征在于,上述第1分支路径与上述第2分支路径以在俯视中相互交叉的方式形成;具备物品输送车,所述物品输送车具有行进部、和位于该行进部的下方的物品保持部,在上述行进部上具备左右的行进轮、以及绕上下轴心旋转的左右的导引轮;上述行进导引部件分别对应于上述第1行进路径及上述第2行进路径而具备在路径横宽方向上隔开间隔配置的左右一对轨道部;上述左右一对轨道部具备上述行进轮行进的行进面及导引上述导引轮的导引面;上述左右一对轨道部中的、位于上述第1分支路径及上述第2分支路径存在的一侧的分支侧轨道部形成为,在上述第1分支路径或上述第2分支路径的入口部与上述第2分支路径或上述第1分支路径的出口部之间的分支路径形成区域中,沿着上述第1分支路径或上述第2分支路径的入口侧部分及出口侧部分,并且形成为,在上述第1分支路径与上述第2分支路径的交叉区域中为截断的状态;设有:行进方向切换机构,将上述物品输送车的行进状态向分支行进状态和非分支行进状态切换,所述分支行进状态指使在上述第1行进路径或上述第2行进路径上行进的上述物品输送车向上述第1分支路径或上述第2分支路径分支行进的状态,所述非分支行进状态指使上述物品输送车直线前进行进的状态;非分支行进用辅助导引机构,导引上述物品输送车,以抑制在上述第1行进路径或上述第2行进路径的上述分支路径形成区域上行进的上述物品输送车向上述分支侧轨道部侧倾斜;辅助承接机构,在上述第1分支路径或上述第2分支路径的上述分支侧轨道部的非存在区域中承接支承上述物品输送车;分支行进用辅助导引机构,导引上述物品输送车,以抑制在上述第1分支路径或上述第2分支路径上行进的上述物品输送车的左右方向上的倾斜。2.如权利要求1所述的物品输送设备,其特征在于,多个上述行进路径在俯视中形成为多重的环状。3.如权利要求1或2所述的物品输送设备,其特征在于,对应于与上述第1行进路径对应的上述分支侧轨道部的沿着上述第1分支路径的入口侧部分的第1入口侧轨道部分、与上述第1行进路径对应的上述分支侧轨道部的沿着上述第2分支路径的出口侧部分的第1出口侧轨道部分、与上述第2行进路径对应的上述分支侧轨道部的沿着上述第2分支路径的入口侧部分的第2入口侧轨道部分、以及与上述第2行进路径对应的上述分支侧轨道部的沿着上述第1分支路径的出口侧部分的第2出口侧轨道部分,设有第1可动轨道及第2可动轨道的一对可动轨道;上述一对可动轨道构成为,能够将配置状态切换为:第1分支路径形成状态,使上述第1可动轨道成为连接在上述第1入口侧轨道部分上、沿...
【专利技术属性】
技术研发人员:小川大介,柴田优,大谷淳,衣川知孝,
申请(专利权)人:株式会社大福,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。