【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种透镜单元,向对象物聚光照射激光波束,具备:光学透镜;镜筒,保持所述光学透镜;以及多个温度检测器,其中,所述多个温度检测器设置于在所述光学透镜的激光波束照射区域与所述光学透镜的外周之间存在的激光波束非照射部分,对用于求出所述光学透镜的平均温度或者用于求出所述光学透镜的平均温度以及面内的温度分布的温度信号进行测定。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:石塚智彦,伊藤健治,成濑正史,高桥悌史,
申请(专利权)人:三菱电机株式会社,
类型:发明
国别省市:
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