透镜单元以及激光加工装置制造方法及图纸

技术编号:8758011 阅读:139 留言:0更新日期:2013-06-06 13:56
本发明专利技术提供一种透镜单元以及激光加工装置。在激光加工装置(100)中,在fθ透镜(5)中使用了能够用温度检测器(14)测定高能量的激光波束(2)的瞬间的吸收所致的光学透镜(11a、11b)的温度变化的透镜单元(20)。在光学透镜(11a、11b)的激光波束非照射部分(16)中设置了多个温度检测器(14),控制装置(9)根据由温度检测器(14)测定的温度信号,校正激光波束(2)的聚光点位置来进行控制。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种透镜单元,向对象物聚光照射激光波束,具备:光学透镜;镜筒,保持所述光学透镜;以及多个温度检测器,其中,所述多个温度检测器设置于在所述光学透镜的激光波束照射区域与所述光学透镜的外周之间存在的激光波束非照射部分,对用于求出所述光学透镜的平均温度或者用于求出所述光学透镜的平均温度以及面内的温度分布的温度信号进行测定。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:石塚智彦伊藤健治成濑正史高桥悌史
申请(专利权)人:三菱电机株式会社
类型:发明
国别省市:

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