带排片功能的石英晶片厚度分选机及分选排片方法技术

技术编号:8757637 阅读:261 留言:0更新日期:2013-06-06 01:08
本发明专利技术公开了一种带排片功能的石英晶片厚度分选机,包括上料模块、厚度测量模块、分选模块、排料模块;上料模块将晶片输送到位,由上电极传递给厚度测量模块对晶片进行厚度测量;分选模块根据厚度测量模块的测量结果将晶片分选至不同的料盒内;部分料盒连接排料模块;所述部分料盒内的晶片通过排料模块实现排料。本发明专利技术能够实现石英晶片的全自动分选和排料功能,进料、测量、分选和排片都由单独电机控制,能够大幅度地提高晶片厚度测量的速度,分选后带自动排片功能,能够减少人为接触晶片的几率,减少晶片的破损率。本发明专利技术还公开了一种石英晶片厚度分选排片方法。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种带排片功能的石英晶片厚度分选机,其特征在于:包括上料模块(1)、厚度测量模块(2)、分选模块(3)、排料模块(5);上料模块(1)将晶片输送到位,由上电极(19)传递给厚度测量模块(2)对晶片进行厚度测量;分选模块(5)根据厚度测量模块(3)的测量结果将晶片分选至不同的料盒(6)内;部分料盒(6)连接排料模块(5);所述部分料盒(6)内的晶片通过排料模块(5)实现排料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王维锐刘木林王均晖张林友
申请(专利权)人:浙江大学台州研究院
类型:发明
国别省市:

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