一种以废石英坩埚为原料生产熔融钝角石英砂的方法技术

本发明专利技术公开了一种以废石英坩埚为原料生产熔融钝角石英砂的方法，该产品属于石英精加工领域；本发明专利技术是以废石英坩埚料、浓度为10%-15%的稀盐酸、浓度为47%的氢氟酸、水，经废石英坩锅料破碎、酸洗、水提纯、筛分、高温烧结熔融、冷却后破碎、筛分、磁选后制得石英坩埚用熔融钝角石英砂，该工艺流程的主要优点是：所用设备少、投资小、无有毒有害气体和液体排放、产品质量好、可批量生产并生产出高质量的石英坩埚用熔融钝角石英砂，该石英砂可替代国外进口高纯石英砂来生产石英坩埚，既废物利用，也产生了较大的经济效益和社会效益。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于熔融石英砂加工领域，尤其涉及一种以废石英坩埚为原料工业化生产坩埚用熔融钝角石英砂的方法。
技术介绍
坩埚是用耐火的材料所制的器皿或熔化罐，当有固体要以大火加热时，就必须使用坩埚。坩埚按制作的原材料可分为、石墨坩埚、石英坩埚、瓷坩埚、刚玉坩埚、碳化硅坩埚、白金坩锅、镍坩埚。石英坩埚是坩埚的一个重要品种，可在1450°C以下使用，具有高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。石英坩埚分透明、半透明和不透明三种，半透明石英坩埚是生产多晶硅、拉制大直径单晶硅、发展大规模集成电路必不可少的基础材料。目前常用来拉制单晶硅的石英坩埚为18英寸、20英寸、22英寸等几种。目前国内坩埚生产技术比较成熟，其工艺流程为:1.将高纯石英砂真空装入石墨成型模具；2.真空电弧熔制；3.自然冷却脱模；4.冷加工喷砂；5.超净清洗、高压喷淋、自动烘干；6加温烘烤、真空包装得到成品。目前国内生产石英坩埚使用的主要原料高纯石英砂需由美国或挪威进口，这样就造成了如下缺陷，1.原料的价格高昂，进一步导致石英坩埚的生产成本大大增加，也使石英坩埚 的销售价格较高；2.原料的来源、数量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种以废石英坩埚为原料生产熔融钝角石英砂的方法，其配方按重量百分比计算，包括：废石英坩埚料、浓度为10%?15%的稀盐酸、浓度为47%的氢氟酸、水；其特征是：步骤（1）将废石英坩埚料送入破碎机破碎为粒度为5mm—10mm的颗粒状；步骤（2）将破碎后的废石英坩埚颗粒送入酸池，用浓度为10%?15%的稀盐酸和浓度为47%的氢氟酸按4:1的比例混合的混合酸浸泡72?74小时，酸洗的目的是除去废石英坩埚料中所含的附着物及氧化物；步骤（3）将酸池中混合酸浸泡后的废石英坩埚颗粒捞出后，立即送入水洗机用水冲洗除酸，除酸后的废石英坩埚颗粒经筛分后送入高温烧结炉，调炉内温度为1800℃?1900℃，熔化时间为1...

【技术特征摘要】
1.一种以废石英坩埚为原料生产熔融钝角石英砂的方法，其配方按重量百分比计算，包括:废石英坩埚料、浓度为10%-15%的稀盐酸、浓度为47%的氢氟酸、水；其特征是:步骤(I)将废石英坩埚料送入破碎机破碎为粒度为5mm — IOmm的颗粒状；步骤(2)将破碎后的废石英坩埚颗粒送入酸池，用浓度为10%-15%的稀盐酸和浓度为47%的氢氟酸按4:1的比例混合的混合酸浸泡72-74小时，酸洗的目的是除去废石英坩埚料中所含的附着物及氧化物；步骤(3)将酸池中混合酸浸泡后的废石英坩埚颗粒捞出后，立即送入水洗机用水冲洗除酸，除酸后的废石英坩埚颗粒经筛分后送入高温烧结炉，调炉内温度为1800°C -1900°C,熔化时间为11-15小时，得到坩埚料熔融体；步骤(4)熔融结束后停止向高温烧结炉供电，降温至常温冷却后得到大块的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张雷，
申请(专利权)人：江苏融汇石英材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：