【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体测试领域，尤其涉及一种对半导体产品的开启电压的测试方法及系统。
技术介绍
场效应管包括结型场效应管和MOS型场效应管，应用非常广泛。夹断电压Vp和开启电压Vth是场效应管的重要直流参数。一般，Vth是指增强型场效应管的开启电压。增强型场效应管通过在栅极上加电压使硅表面反型，然后在漏极上加一定电压使源漏之间有电流通过。在测试过程中，在栅极上扫描电压，同时进行源漏端流的测试，当在漏端电流达到目标电流后(开启电流)，则认为此时的栅端电压为开启电压vth。现阶段，由于需要提供给客户在电路设计时候的概要以及验证工艺控制窗口的能力，工厂需要给各户提供大量的失配数据。由于测试精度会对失配测试有明显影响，所以进行开启电压的失配测试要比正常测试更为精确才能满足测试需求。现有的开启电压的测试方法，在栅端从OV开始增加电压进行扫描，设定扫描步长，在漏端测量电流，设目标电流为I μ Α,比较漏端电流与目标电流，当漏端电流达到目标电流时，返回此时开启电压的值。采用这样的扫描模式，在测试到漏端电流达到目标电流一次后，测试结束。如果设置的步长过大，会严重影响测试精度；如果...
【技术保护点】
一种开启电压的测试方法，包括：步骤A、开启电压的粗扫描：确定粗扫描步长下的扫描开启电压；步骤B、开启电压的精扫描：在前一次扫描步长对应的扫描开启电压的基础上，以缩小后的扫描步长作为当前扫描步长进行扫描，确定在缩小后的扫描步长所对应的扫描开启电压；不断缩小扫描步长并扫描直到前一次的扫描步长小于设定步长，根据最后一次扫描结果计算开启电压；其中，所述扫描开启电压为在当前扫描步长下使得漏端电流大于目标电流时的栅端电压最小值。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王明，连晓谦，凌耀君，许文慧，陈寒顺，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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