一种隔离阀开关信号检测设备制造技术

本实用新型专利技术实施例涉及半导体技术领域，特别涉及一种隔离阀开关信号检测设备，用以解决由于反弹片丧失传递能力，机台无法检测开、关门信号的问题。本实用新型专利技术实施例提供的隔离阀开关信号检测的设备，包括隔离阀气缸、隔离阀气缸轴、拉杆、开门开关和关门开关，拉杆包括第一顶杆，气缸轴包括第二顶杆；气缸轴在气缸内下行，带动第一顶杆，将关门开关由第一状态变为第二状态；气缸轴在气缸内上行，带动第一顶杆，将关门开关由第二状态变为第一状态；气缸轴在气缸内下行，带动第二顶杆，将开门开关由第二状态变为第一状态；气缸轴在气缸内上行，带动第二顶杆，将开门开关由第一状态变为第二状态。本实用新型专利技术实施例实现了机台能够长期稳定地检测信号。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体
，特别涉及一种隔离阀开关信号检测设备。
技术介绍
现有技术中，机台的隔离阀的主要结构如图1所示，在图1中，拉杆与隔离阀气缸轴固定在一起，反弹片的A端固定在拉杆上，反弹片的B端固定在隔离阀阀体上，反弹片的C端与关门开关的接触部件相接触，开门开关和关门开关均处于常开状态。在隔离阀气缸上行时，与隔离阀气缸轴固定在一起的拉杆也随着上行，反弹片由于固定在拉杆上的A端也随着上行，而B端却固定在隔离阀阀体上，因而反弹片的B端受到向下的作用力，并传递给C端，使得与关门开关的接触部件相接触的C端向下动作，C端向下的作用力使得关门开关的接触部件向下动作，当隔离阀气缸上行到上止点时，关门开关被接通，而开门开关的接触部件由于隔离阀气缸轴的顶杆的向下的作用力的消失，开门开关的接触部件自然松开，因而开门开关处于断开状态(相当于开门信号中断)；在隔离阀气缸下行时，与隔离阀气缸轴固定在一起的拉杆也随着下行，与关门开关的接触部件相接触的C端向上动作，C端向上的作用力使得关门开关的接触部件向上动作，当隔离阀气缸下行到下止点时，C端离开关门开关的接触部件，关门开关的接触部件自然松开，关门开关处于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种隔离阀开关信号检测设备，包括隔离阀气缸（201）、隔离阀气缸轴（202）和拉杆（203），开门开关（204）和关门开关（205）；处于所述隔离阀气缸（201）内部的隔离阀气缸轴（202）部分能够在所述隔离阀气缸（201）内上下移动，处于所述隔离阀气缸（201）外部的隔离阀气缸轴（202）部分与拉杆（203）连接，其特征在于，所述拉杆（203）包括第一顶杆（206），处于所述隔离阀气缸（201）外部的隔离阀气缸轴（202）部分包括第二顶杆（207）；?隔离阀气缸轴（202）在所述隔离阀气缸（201）内往下运行时，带动所述拉杆（203）上的第一顶杆（206），将所述关门开关（205）由第一状态...

【技术特征摘要】
1.一种隔离阀开关信号检测设备，包括隔离阀气缸(201)、隔离阀气缸轴(202)和拉杆(203)，开门开关(204)和关门开关(205);处于所述隔离阀气缸(201)内部的隔离阀气缸轴(202)部分能够在所述隔离阀气缸(201)内上下移动，处于所述隔离阀气缸(201)外部的隔尚阀气缸轴(202)部分与拉杆(203)连接,其特征在于,所述拉杆(203)包括第一顶杆(206),处于所述隔离阀气缸(201)外部的隔离阀气缸轴(202)部分包括第二顶杆(207);隔离阀气缸轴(202)在所述隔离阀气缸(201)内往下运行时，带动所述拉杆(203)上的第一顶杆(206)，将所述关门开关(205)由第一状态改变为第二状态；以及隔离阀气缸轴(202)在所述隔离阀气缸(201)内往上运行时，带动所述拉杆(203)上的第一顶杆(206)，将所述关门开关(205)由第二状态改变为第一状态； 隔离阀气缸轴(202)在所述隔离阀气缸(201)内往下运行时，带动所述第二顶杆(207)，将所述开门开关(204)由第二状态改变为第一状态；以及隔离阀气缸轴(202)在所述隔离阀气缸(201)内往上运行时，带动所述第二顶杆(207)，将所述开门开关(204)由第一状态改变为第二状态； 其中，若第一状态为常开状态，则第二状态为常闭状态；若第一状态为常闭状态，则第二状态为常开状态。2.按权利要求1所述的设备，其特征在于，所述开门开关(204)包...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴天亮，肖士悦，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：