一种隔离阀开关信号检测设备制造技术

本实用新型专利技术实施例涉及半导体技术领域，特别涉及一种隔离阀开关信号检测设备，用以解决由于反弹片丧失传递能力，机台无法检测开、关门信号的问题。本实用新型专利技术实施例提供的隔离阀开关信号检测的设备，包括隔离阀气缸、隔离阀气缸轴、拉杆、开门开关和关门开关，拉杆包括第一顶杆，气缸轴包括第二顶杆；气缸轴在气缸内下行，带动第一顶杆，将关门开关由第一状态变为第二状态；气缸轴在气缸内上行，带动第一顶杆，将关门开关由第二状态变为第一状态；气缸轴在气缸内下行，带动第二顶杆，将开门开关由第二状态变为第一状态；气缸轴在气缸内上行，带动第二顶杆，将开门开关由第一状态变为第二状态。本实用新型专利技术实施例实现了机台能够长期稳定地检测信号。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体
，特别涉及一种隔离阀开关信号检测设备。
技术介绍
现有技术中，机台的隔离阀的主要结构如图1所示，在图1中，拉杆与隔离阀气缸轴固定在一起，反弹片的A端固定在拉杆上，反弹片的B端固定在隔离阀阀体上，反弹片的C端与关门开关的接触部件相接触，开门开关和关门开关均处于常开状态。在隔离阀气缸上行时，与隔离阀气缸轴固定在一起的拉杆也随着上行，反弹片由于固定在拉杆上的A端也随着上行，而B端却固定在隔离阀阀体上，因而反弹片的B端受到向下的作用力，并传递给C端，使得与关门开关的接触部件相接触的C端向下动作，C端向下的作用力使得关门开关的接触部件向下动作，当隔离阀气缸上行到上止点时，关门开关被接通，而开门开关的接触部件由于隔离阀气缸轴的顶杆的向下的作用力的消失，开门开关的接触部件自然松开，因而开门开关处于断开状态(相当于开门信号中断)；在隔离阀气缸下行时，与隔离阀气缸轴固定在一起的拉杆也随着下行，与关门开关的接触部件相接触的C端向上动作，C端向上的作用力使得关门开关的接触部件向上动作，当隔离阀气缸下行到下止点时，C端离开关门开关的接触部件，关门开关的接触部件自然松开，关门开关处于断开状态，而开门开关的接触部件由于隔离阀气缸轴的顶杆的向下的作用力，使得开门开关处于接通状态；机台根据上述过程实现检测开、关门信号。由于隔离阀气缸进行多次上下行过程，反弹片需要做多次的折弯运动，反弹片的应力集中在B端，从而使得反弹片的B端可能由于长期疲劳而失去弹力，甚至被折断，从而丧失作用力的传递能力(即不能将作用力传递给C端)，进而使得机台无法检测开、关门信号。综上所述，目前机台的隔离阀，由于隔离阀气缸进行多次上下行过程，反弹片需要做多次的折弯运动，使得反弹片的B端可能由于长期疲劳而丧失作用力的传递能力，使得机台无法检测开、关门信号。
技术实现思路
本技术实施例提供了一种隔离阀开关信号检测设备，用以解决现有技术中存在的由于反弹片进行多次折弯运动，反弹片丧失作用力的传递能力，使得机台无法检测开、关门信号的问题。本技术实施例提供的一种隔离阀开关信号检测设备，包括隔离阀气缸、隔离阀气缸轴和拉杆，开门开关和关门开关；处于隔离阀气缸内部的隔离阀气缸轴部分能够在隔离阀气缸内上下移动，处于隔离阀气缸外部的隔离阀气缸轴部分与拉杆连接，拉杆包括第一顶杆，处于隔离阀气缸外部的隔离阀气缸轴部分包括第二顶杆；隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往下运行时，带动拉杆上的第一顶杆，将关门开关由第一状态改变为第二状态；以及隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往上运行时，带动拉杆上的第一顶杆，将关门开关由第二状态改变为第一状态；隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往下运行时，带动第二顶杆，将开门开关由第二状态改变为第一状态；以及隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往上运行时，带动第二顶杆，将开门开关由第一状态改变为第二状态；其中，若第一状态为常开状态,则第二状态为常闭状态；若第一状态为常闭状态，则第二状态为常开状态。较佳地，开门开关包括第一端与第二端；第一端，用于连接电源；关门开关包括第三端与第四端；第三端，用于连接电源；第二端悬空时，开门开关处于常开状态；第四端连接接地信号线时，关门开关处于常闭状态。较佳地，开门开关包括第一端与第二端；第一端，用于连接电源；关门开关包括第三端与第四端；第三端，用于连接电源；第二端连接接地信号线时，开门开关处于常闭状态；第四端悬空时，关门开关处于常开状态。较佳地，第一顶杆包括缓冲部件。较佳地，缓冲部件为压缩弹簧。较佳地，第一顶杆包括包覆缓冲部件的保护罩。较佳地，保护罩为刚性旋转体。较佳地，关门开关包括接触部件；拉杆的中轴线与关门开关的接触部件的中轴线在一条线上。较佳地，处于隔离阀气缸外部的隔离阀气缸轴部分通过连接部件与拉杆连接。在本技术实施例中，隔离阀开关信号检测设备，包括隔离阀气缸、隔离阀气缸轴和拉杆，开门开关和关门开关；处于隔离阀气缸内部的隔离阀气缸轴部分能够在隔离阀气缸内上下移动，处于隔尚阀气缸外部的隔尚阀气缸轴部分与拉杆连接，其特征在于，拉杆包括第一顶杆，处于隔离阀气缸外部的隔离阀气缸轴部分包括第二顶杆；隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往下运行时，带动拉杆上的第一顶杆，将关门开关由第一状态改变为第二状态；以及隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往上运行时，带动拉杆上的第一顶杆，将关门开关由第二状态改变为第一状态；隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往下运行时，带动第二顶杆，将开门开关由第二状态改变为第一状态；以及隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往上运行时，带动第二顶杆，将开门开关由第一状态改变为第二状态；其中，若第一状态为常开状态，则第二状态为常闭状态；若第一状态为常闭状态，则第二状态为常开状态，由于通过去除反弹片和改变拉杆的结构，实现改变力的传递方向，以及通过改变开、关门开关的电路连接，实现隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内上下行切换时，开门开关和关门开关工作状态的切换，从而使得机台能够长期稳定地检测开、关门信号，以及实现降低机台报警率。附图说明图1为现有技术中隔离阀结构示意图；图2为本技术实施例第一种隔离阀开关信号检测设备结构示意图；图3为本技术实施例第二种隔离阀开关信号检测设备结构示意图。具体实施方式本技术实施例，隔离阀开关信号检测设备，包括隔离阀气缸、隔离阀气缸轴和拉杆，开门开关和关门开关；处于隔离阀气缸内部的隔离阀气缸轴部分能够在隔离阀气缸内上下移动，处于隔尚阀气缸外部的隔尚阀气缸轴部分与拉杆连接，拉杆包括第一顶杆，处于隔离阀气缸外部的隔离阀气缸轴部分包括第二顶杆；隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往下运行时，带动拉杆上的第一顶杆，将关门开关由第一状态改变为第二状态；以及隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往上运行时，带动拉杆上的第一顶杆，将关门开关由第二状态改变为第一状态；隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往下运行时，带动第二顶杆，将开门开关由第二状态改变为第一状态；以及隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内往上运行时，带动第二顶杆，将开门开关由第一状态改变为第二状态；其中，若第一状态为常开状态，则第二状态为常闭状态；若第一状态为常闭状态，则第二状态为常开状态，由于通过去除反弹片和改变拉杆的结构，实现改变力的传递方向，以及通过改变开、关门开关的电路连接，实现隔离阀气缸轴在隔离阀气缸内上下行切换时，开门开关和关门开关工作状态的切换，从而使得机台能够长期稳定地检测开、关门信号，以及实现降低机台报警率。下面结合说明书附图对本技术实施例作进一步详细描述。如图2所示，本技术实施例隔离阀开关信号检测设备包括隔离阀气缸201、隔尚阀气缸轴202、拉杆203、开门开关204和关门开关205,处于隔尚阀气缸201内部的隔尚阀气缸轴202部分能够在隔离阀气缸201内上下移动，处于隔离阀气缸201外部的隔离阀气缸轴202部分与拉杆203连接，拉杆包括第一顶杆206,处于隔尚阀气缸201外部的隔尚阀气缸轴202部分包括第二顶杆207 ；隔离阀气缸轴202在隔离阀气缸201内往下运行时，带动第一顶杆206，将关门开关205由第一状态改变为第二状态；以及隔离阀气缸轴202在隔离阀气缸201内往上运行时,带动第一顶杆206，将关门开关205由第二状态改变为第一状态；隔离阀气缸轴202在隔离阀气缸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种隔离阀开关信号检测设备，包括隔离阀气缸（201）、隔离阀气缸轴（202）和拉杆（203），开门开关（204）和关门开关（205）；处于所述隔离阀气缸（201）内部的隔离阀气缸轴（202）部分能够在所述隔离阀气缸（201）内上下移动，处于所述隔离阀气缸（201）外部的隔离阀气缸轴（202）部分与拉杆（203）连接，其特征在于，所述拉杆（203）包括第一顶杆（206），处于所述隔离阀气缸（201）外部的隔离阀气缸轴（202）部分包括第二顶杆（207）；?隔离阀气缸轴（202）在所述隔离阀气缸（201）内往下运行时，带动所述拉杆（203）上的第一顶杆（206），将所述关门开关（205）由第一状态改变为第二状态；以及隔离阀气缸轴（202）在所述隔离阀气缸（201）内往上运行时，带动所述拉杆（203）上的第一顶杆（206），将所述关门开关（205）由第二状态改变为第一状态；?隔离阀气缸轴（202）在所述隔离阀气缸（201）内往下运行时，带动所述第二顶杆（207），将所述开门开关（204）由第二状态改变为第一状态；以及隔离阀气缸轴（202）在所述隔离阀气缸（201）内往上运行时，带动所述第二顶杆（207），将所述开门开关（204）由第一状态改变为第二状态；?其中，若第一状态为常开状态，则第二状态为常闭状态；若第一状态为常闭状态，则第二状态为常开状态。...

【技术特征摘要】
1.一种隔离阀开关信号检测设备，包括隔离阀气缸(201)、隔离阀气缸轴(202)和拉杆(203)，开门开关(204)和关门开关(205);处于所述隔离阀气缸(201)内部的隔离阀气缸轴(202)部分能够在所述隔离阀气缸(201)内上下移动，处于所述隔离阀气缸(201)外部的隔尚阀气缸轴(202)部分与拉杆(203)连接,其特征在于,所述拉杆(203)包括第一顶杆(206),处于所述隔离阀气缸(201)外部的隔离阀气缸轴(202)部分包括第二顶杆(207);隔离阀气缸轴(202)在所述隔离阀气缸(201)内往下运行时，带动所述拉杆(203)上的第一顶杆(206)，将所述关门开关(205)由第一状态改变为第二状态；以及隔离阀气缸轴(202)在所述隔离阀气缸(201)内往上运行时，带动所述拉杆(203)上的第一顶杆(206)，将所述关门开关(205)由第二状态改变为第一状态； 隔离阀气缸轴(202)在所述隔离阀气缸(201)内往下运行时，带动所述第二顶杆(207)，将所述开门开关(204)由第二状态改变为第一状态；以及隔离阀气缸轴(202)在所述隔离阀气缸(201)内往上运行时，带动所述第二顶杆(207)，将所述开门开关(204)由第一状态改变为第二状态； 其中，若第一状态为常开状态，则第二状态为常闭状态；若第一状态为常闭状态，则第二状态为常开状态。2.按权利要求1所述的设备，其特征在于，所述开门开关(204)包...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴天亮，肖士悦，
申请(专利权)人：北大方正集团有限公司，深圳方正微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：