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本实用新型实施例涉及半导体技术领域，特别涉及一种隔离阀开关信号检测设备，用以解决由于反弹片丧失传递能力，机台无法检测开、关门信号的问题。本实用新型实施例提供的隔离阀开关信号检测的设备，包括隔离阀气缸、隔离阀气缸轴、拉杆、开门开关和关门开关，...该专利属于北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司授权不得商用。