提供一种真空装置用照明器具，其中，光能通过观察窗进入真空装置的内部，并且真空装置的内部能够被照亮从而能够从观察窗目视地确认真空装置的内部。[解决方案]真空装置用照明器具（10A）包括：联接适配器（11），其通过联接单元被可装卸地联接到观察窗；开口（12），其形成在联接适配器（11）的中央部，并且经过该开口可以通过观察窗目视地确认真空装置的内部；以及多个LED（发光二极管）（13），其被安装于联接适配器（11），并且面对观察窗。照明器具（10A）被安装到用于目视地确认真空装置内部的观察窗，并且照亮真空装置的内部。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及真空装置用照明器具，该照明器具被安装到用于观察真空装置的内部的观察窗，并且照亮真空装置的内部。
技术介绍
存在如下氢量测定装置(真空装置)，其设置有:真空室，其容纳测定对象物；输送单元，其被联接到真空室的一端并且将测定对象物输送到室的内部；加热器，其逐渐地将真空室的温度从低温升高到高温；分压分析计，其在被输送到真空室内部的测定对象物的温度增加的情况下分析从测定对象物释放的氢气的氢气分压；以及控制器，其基于从分压分`析计输出的氢气分压确定包含于测定对象物中的氢量(参见专利文件I)。输送单元由具有预定容积的壳体、能够插入到壳体的内部并且从壳体的内部拉出的输送杆、被安装到输送杆的一端并且可装卸地支撑测定对象物的支撑构件和配置于壳体外周面的引导磁体形成。在该氢量测定装置中，安装到输送杆一端的支撑构件可装卸地支撑测定对象物，通过使用输送杆和引导磁体使测定对象物从室的一端移动到室的中央部，并且，在测定对象物载置于处于室的中央部的载物台之后，测定测定对象物的氢量。专利文献1:特开2009-006877号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题虽然在图中未示出，但是在上述公报中公开的氢量测定装置(真空装置)设置有多个用于观察真空室内部的观察窗。氢量测定装置允许在通过观察窗目视地检查的情况下使测定对象物移动到室的中央部并被载置在载物台上。在该氢量测定装置中，照明器具不能设置于真空室中或壳体中，使得有必要通过使用外部照明来经观察窗目视地检查测定对象物。然而，当外部照明量小时，通过观察窗进入到真空室的内部和壳体的内部的光量小，使得不可能有效地照亮室的内部和壳体的内部,并且看见室的内部和壳体的内部。如果不能看见真空室的内部，则不能目视地检查测定对象物，使得有时候不能将对象物输送到设置于室的中央部的载物台，并且将对象物载置在该载物台上。而且，如果不能够看见壳体的内部，当多个测定对象物贮存于壳体内时，有时候，不能从这些测定对象物中拾取期望的对象物。本专利技术的目的是提供真空装置用照明器具，该照明器具允许光通过观察窗进入真空装置的内部，并且使得可以通过照亮真空装置的内部而经观察窗看见真空装置的内部。本专利技术的另一目的是提供一种真空装置用照明器具，该照明器具在使光通过观察窗进入到真空装置内部而允许人观察真空装置的内部的情况下能够可靠地将真空处理对象物输送到真空装置的预定位置。用于解决问题的方案本专利技术的用于解决上述问题的前提是真空装置用照明器具，所述照明器具被安装到用于观察真空装置的内部的观察窗，并且所述照明器具照亮所述真空装置的内部。本专利技术的基于上述前提的特征在于，所述照明器具包括:联接适配器，其经由联接单元被能装卸地联接到所述观察窗；开口，其形成于所述联接适配器的中央部，并且允许通过所述观察窗观察所述真空装置的内部；以及多个LED(发光二极管)，其设置于所述联接适配器并且面对所述观察窗。作为本专利技术的示例，所述联接适配器由周壁和环状的LED设置板形成，所述周壁沿着轴向延伸并且具有位于所述观察窗所在侧的前端部、位于所述前端部的相反侧的后端部以及位于所述前端部和所述后端部之间的中间部，所述LED设置板被固定到所述周壁的所述中间部处的内周面，并且所述LED设置板以围绕所述开口的方式沿着所述周壁的径向向内延伸，并且所述多个LED被设置于所述LED设置板的相反面，所述相反面面对所述观察窗。作为本专利技术的另一示例，所述多个LED沿所述LED设置板的相反面的周向等间隔地配置。作为本专利技术的另一示例，用于漫射从所述LED照射的光的光漫射板被安装到所述联接适配器的周壁的在所述前端部和所述中间部处的内周面以及所述LED设置板的相反面的至少一方。作为本专利技术的另一示例，用于反射从所述LED照射的光的光反射板被安装到所述联接适配器的周壁的在所述前端部和所述中间部的内周面以及所述LED设置板的相反面的至少一方。作为本专利技术的另一示例，所述照明器具包括:摄像装置，其被能装卸地设置于所述联接适配器的周壁的后端部并且用于拍摄所述真空装置的内部的图像；以及显示装置，其用于显示所述摄像装置所拍摄的图像。作为本专利技术的另一示例，所述摄像装置为具有CXD图像传感器的CXD相机。作为本专利技术的另一示例，所述真空装置包括真空室和输送单元，所述输送单元被联接到所述真空室并且具有输送部，所述输送部用于将真空处理对象物输送到所述真空室的内部，所述观察窗形成于所述真空室和所述输送单元中的至少所述真空室，所述照明器具被设置于形成于所述真空室和所述输送单元中的至少所述真空室的观察窗。作为本专利技术的另一示例，所述显示装置被设置于所述输送单元的输送部附近。专利技术的效果根据本专利技术的真空装置用照明器具包括:联接适配器，其经由联接单元被能装卸地联接到所述观察窗；开口，其形成于所述联接适配器的中央部，并且允许通过所述观察窗观察所述真空装置的内部；以及多个LED(发光二极管)，其设置于所述联接适配器并且面对所述观察窗，并且，当照明器具被设置于观察窗时，从LED照射的光通过观察窗进入真空装置的内部并且该光照亮真空装置内部的整个空间，使得能够通过观察窗有效地看见真空装置的内部，并且通过观察窗可靠地目视检查设置于真空装置内部的真空处理对象物。在真空装置用照明器具中，联接适配器包括:周壁，其沿着轴向延伸并且包括前后端部和中间部；以及LED设置板，其被固定到周壁在中间部处的内周面，多个LED被设置于LED设置板的相反面,并且所述相反面面对观察窗，由于多个LED设置于LED设置板的相反面，并且来自LED的光从LED设置板的相反面向观察窗照射,从LED照射的光通过观察窗可靠地进入真空装置的内部，并且利用该光照亮真空装置内部的整个空间，使得能够通过观察窗有效地看见真空装置的内部，并且通过观察窗可靠地目视检查设置于真空装置内部的真空处理对象物。在真空装置用照明器具中，所述多个LED沿所述LED设置板的相反面的周向等间隔地配置，由于来自LED的光从LED设置板的相反面被均匀地照射于整个观察窗，所以从LED照射的光通过观察窗可靠地进入到真空装置的内部，并且利用该光照亮真空装置内部的整个空间，使得能够通过观察窗有效地看见真空装置的内部并且通过观察窗可靠地目视检查设置于真空装置的内部的真空处理对象物。在真空装置用照明器具中，用于漫射从所述LED照射的光的光漫射板被安装到所述联接适配器的周壁的在所述前端部和所述中间部处的内周面以及所述LED设置板的相反面的至少一方，由于从LED照射的光被光漫射板漫射，并且来自LED的光被均匀地照射于整个观察窗，所以从LED照射的光在被漫射的同时通过观察窗可靠地进入到真空装置的内部，并且利用该光照亮真空装置内部的整个空间，使得能够通过观察窗有效地看见真空装置的内部并且通过观察窗可靠地目视检查设置于真空装置的内部的真空处理对象物。在真空装置用照明器具中，用于反射从所述LED照射的光的光反射板被安装到所述联接适配器的周壁的在所述前端部和所述中间部的内周面以及所述LED设置板的相反面的至少一方，即使当从LED照射的光被观察窗反射时，由于该光被反射板反射，并且再次进入观察窗，所以从LED照射的大多数光通过观察窗进入真空装置的内部，并且利用该光照亮真空装置内部的整个空间，使得能够通过观察窗有效地看见真空装置的内本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.09 JP 2010-2015681.一种真空装置用照明器具，所述照明器具能被安装到用于观察真空装置的内部的观察窗，并且所述照明器具照亮所述真空装置的内部，其中， 所述照明器具包括:联接适配器，其经由联接单元被能装卸地联接到所述观察窗；开口，其形成于所述联接适配器的中央部，并且允许通过所述观察窗观察所述真空装置的内部；以及多个LED (发光二极管)，其设置于所述联接适配器并且面对所述观察窗。2.根据权利要求1所述的真空装置用照明器具，其特征在于， 所述联接适配器由周壁和环状的LED设置板形成，所述周壁沿着轴向延伸并且具有位于所述观察窗所在侧的前端部、位于所述前端部的相反侧的后端部以及位于所述前端部和所述后端部之间的中间部，所述LED设置板被固定到所述周壁的所述中间部处的内周面，并且所述LED设置板以围绕所述开口的方式沿着所述周壁的径向向内延伸，并且 所述多个LED被设置于所述LED设置板的相反面，所述相反面面对所述观察窗。3.根据权利要求2所述的真空装置用照明器具，其特征在于， 所述多个LED沿所述LED设置板的相反面的周向等间隔地配置。4.根据权利要求2或3所述的真空装置用照明器具，其特征在于， 用于漫射从所述LED照射的光的...
【专利技术属性】
技术研发人员：佐佐木友章，千叶昭雄，
申请(专利权)人：株式会社AVC，
类型：
国别省市：
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