电子束流大小的导向控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管，所述加速管的下端连接有扫描盒，所述加速管上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈，所述加速管与扫描盒的连接处设置有光阑板，所述光阑板的中心开有圆孔。本发明专利技术解决了现有技术中微安数量级的电子束大小调节困难，无法实现的问题，通过在原有装置的扫描盒与加速管之间加装一光阑板，并在光阑板的中心位置开一圆孔，通过控制导向线圈的电流调节电子束流通过圆孔的束流量，从而实现了对电子束流大小的控制，该装置结构简单，操作方便，且调节幅度大，可方便的将束流减少2个数量级。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及了一种电子束流大小的导向控制装置，属于加速器束流控制

技术介绍
目前，国内外加速器的最低工作束流均在毫安数量级，而且常常工作在固定束流下。同一台加速器在不同场合工作时，束流可调范围也在一个数量级内，如要稳定地、平稳地调节到几十微安以内几乎是不可能实现的。通过灯丝的改进，可以使束流在微安数量级内实现平稳可调，但是要在纳安数量级内平稳可调是无法实现的。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种电子束流大小的导向控制装置，通过改变导向线圈的电流大小，调节束流通过圆孔的束流量，从而实现对电子束流大小的控制。为了解决上述技术问题，本专利技术所采用的技术方案是: 一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管，所述加速管的下端连接有扫描盒，所述加速管上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈，所述加速管与扫描盒的连接处设置有光阑板，所述光阑板的中心开有圆孔。前述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于:所述光阑板边缘四周为中空状，并设有通水孔。前述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于:所述导向线圈上方的加速管上设置有聚焦线圈。前述的电子束流大小的导向控制装置，其特征本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管（1），所述加速管（1）的下端连接有扫描盒（7），其特征在于：所述加速管（1）上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈（3），所述加速管（1）与扫描盒（7）的连接处设置有光阑板（4），所述光阑板（4）的中心开有圆孔（41）。

【技术特征摘要】
书及其等效物界。权利要求1.一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管(1)，所述加速管(I)的下端连接有扫描盒(7)，其特征在于:所述加速管(I)上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈(3)，所述加速管(I)与扫描盒(7)的连接处设置有光阑板(4)，所述光阑板(4)的中心开有圆孔(41)。2.根据权利要求1所述的电子束流大小的...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡志荣，
申请(专利权)人：江苏达胜加速器制造有限公司，
类型：发明
国别省市：