【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于计算机
，更进一步涉及图像处理技术和集成电路的
的。本专利技术考虑了短路关键面积约束，在版图中插入冗余通孔，提高集成电路版图的成品率和可靠性，可应用于优化集成电路版图的设计。
技术介绍
随着大规模集成电路(VLSI)特征尺寸的不断缩小，随机缺陷在集成电路制造过程中引起的成品率损失越来越严重。这些随机缺陷包括通孔缺陷和其他缺陷，通孔缺陷表现为随机的概率事件，导致电阻异常增加，甚至出现断路缺陷，其他缺陷在版图中出现，可能会导致版图线网之间形成短路缺陷。这些缺陷的出现，将影响芯片的功能，减少芯片的成品率。可以从两个方面降低这些随机缺陷的影响，一方面改进生产工艺，降低工艺缺陷概率密度；另外一个方面，增加冗余版图，降低版图对缺陷的敏感性。目前，常用的冗余通孔插入技术主要有通过无向图最大独立集冗余通孔插入方法和二值匹配冗余通孔插入方法。无向图最大独立集冗余通孔插入方法从单通孔的角度出发，通过周围的信息来对单通孔加权确定优先顺序，以便插入冗余通孔，这个方法的缺点是没有对死通孔进行插入冗余通孔处理，而且是一个NP完成问题，处理时间长。二值匹配冗余通孔插...
【技术保护点】
基于短路关键面积约束的版图冗余通孔插入方法，具体步骤如下：(1)确定源图像输入一幅三层版图图像，将输入的这幅三层版图图像作为源图像；(2)加权处理2a)在源图像中按照从上到下，从左到右的顺序，依次搜索所有单通孔，找出每个单通孔的四个候选区域，将这四个候选区域的对应标示位的值设置为1，候选区域的权值和四个标示位的初始值均为0；2b)判断在源图像中的每个候选区域内是否能够插入冗余通孔，如果在所判断的候选区域内能够插入冗余通孔，则将该候选区域的权值设置为1，当能插入的冗余通孔是线下冗余通孔时，将该候选区域在步骤2a)所设置的对应标示位的值变为2，当能插入的冗余通孔是线上冗余通孔时...
【技术特征摘要】
1.关于短路关键面积约束的版图冗余通孔插入方法，具体步骤如下: (1)确定源图像 输入一幅三层版像，将输入的这幅三层版像作为源图像； (2)加权处理 2a)在源图像中按照从上到下，从左到右的顺序，依次搜索所有单通孔，找出每个单通孔的四个候选区域，将这四个候选区域的对应标示位的值设置为1，候选区域的权值和四个标示位的初始值均为O ; 2b)判断在源图像中的每个候选区域内是否能够插入冗余通孔，如果在所判断的候选区域内能够插入冗余通孔，则将该候选区域的权值设置为1，当能插入的冗余通孔是线下冗余通孔时，将该候选区域在步骤2a)所设置的对应标示位的值变为2，当能插入的冗余通孔是线上冗余通孔时，该候选区域的四个标示位的值保持不变；如果在该候选区域内不能够插入冗余通孔，则该候选区域的权值和四个标示位的值保持不变； 2c)计算源图像中权值为I的每个候选区域插入冗余通孔后的短路关键面积比率； 2d)判断每个候选区域插入冗余通孔后的短路关键面积比率是否小于短路关键面积约束，如果是，该候选区域的权值保持不变，否则，将该候选区域的权值减I ; (3)移动候选区域 将源图像中权值为O的 所有候选区域，向各自候选区域所对应单通孔的方向移动，移动的距离为单通孔的长度； (4)加权处理 4a)判断在源图像中权值为O的每个候选区域内是否能够插入冗余通孔，如果在所判断的候选区域内能够插入冗余通孔，则将该候选区域的权值设置为1，当能插入的冗余通孔是线下冗余通孔时，将该候选区域在步骤2a)所设置的对应标示位的值加3，当能插入的冗余通孔是线上冗余通孔时，该候选区域在步骤2a)所设置的对应标示位的值加2 ;如果在该候选区域内不能够插入冗余通孔，则该候选区域的权值和四个标示位的值保持不变； 4b)计算源图像中权值为I并且四个标示位的值中含有3或4的每个候选区域插入冗余通孔后的短路关键面积比率； 4c)判断每个候选区域插入冗余通孔后的短路关键面积比率是否小于短路关键面积约束，如果是，该候选区域的权值保持不变，否则，将该候选区域的权值减I ; (5)更新权值 5a)查找源图像中权值非O的每个候选区域在权值非O的其他候选区域中有重叠的候选区域个数η; 5b)将每个候选区域对应单通孔的另外三个候选区域中权值非O的候选区域作为各自候选区域的周围区； 5c)查找每个候选区域在其周围区中有重叠的候选区域个数m ; 5d)源图像中权值非O的每个候选区域的权值加上对应的n，再减去对应的m ； (6)在标示位的值中包含I的候选区域内插入冗余通孔 对在四个标示位的值中含有I的所有候选区域，按照权值优先顺序依次在候选区域内插入冗余通孔； (7)在标示位的值中包含2的候选区域内插入...
【专利技术属性】
技术研发人员：王俊平，许丹，苏永邦，李锦，曹洪花，戚苏阳，张广燕，高艳红，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。