布线板测定装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种半导体器件。夹具板（4）中，以等中心间隔沿着长度方向形成有多个小孔（40a），在长度方向的中央附近的区域即中央区域（4c）中以螺钉（41）固定在载置台（2）上，且在比中央区域（4c）更靠端侧不以螺钉固定在载置台（2）上。另外，通过设置在载置台（2）上的磁铁（2c），夹具板（4）的长度方向的两端被施压至载置台（2）侧。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种布线板测定装置。
技术介绍
以往,为了安装IC (integrated circuit,集成电路)芯片、电阻、电容器等电子零件而利用多层印刷布线板。这种多层印刷布线板是通过分别形成各层的印刷布线板，最终使所形成的印刷布线板积层而获得。将印刷布线板积层时，如果各印刷布线板的布线图案彼此不为正确的位置关系，会产生不良品，因此，期望准确地测定形成在印刷布线板的布线图案的位置。尤其在大量生产多层印刷布线板的情况下，通过针对每个布线图案的位置(偏移)分开而积层印刷布线板，从而可高效地制造多层印刷布线板。为了测定形成在印刷布线板的布线图案的位置，将印刷布线板载置在载置台上，从铅垂上方拍摄形成在印刷布线板上的对准标记(alignment mark)(例如参照日本专利特开2005-349505号公报)。日本专利特开2005-349505号公报中所记载的装置中，将每隔特定间隔形成多个基准标记的位置测定用的夹具板固定在载置台上。而后，根据拍摄获得的图像数据以夹具板的基准标记为基准测定印刷布线板，在印刷布线板上设定开孔的位置。在日本专利特开2005-349505号公报中所记载的装置中，考虑到夹具板因温度变化而伸缩、基准标记间的距离发生变化，由不易因温度变化而变形的材料形成夹具板。
技术实现思路
在所述装置中，使用不易因温度变化而变形的夹具板，但如果固定着夹具板的载置台随着温度变化而变形，会有如下可能性:通过和载置台的固定部位对夹具板施加较大的力，夹具板变形从而基准标记间的距离发生变化。本专利技术是鉴于所述实情而完成的，其目的在于不受温度变化影响而使用夹具板来测定印刷布线板。为了达成所述目的，本专利技术的布线板测定装置是测定设有位置检测用的标记的印刷布线板的所述标记的位置的布线板测定装置；其特征在于包含:载置台，其载置所述印刷布线板；夹具板，其形成预先测定间隔的多个记号，在包含长度方向的中央且比长度方向的二分之一狭窄的区域即中央区域内通过固定机构固定在所述载置台上，且在并非所述中央区域的非中央区域内不固定在所述载置台上；摄像机构，其拍摄所述印刷布线板及所述夹具板；及控制机构，其根据由所述摄像机构拍摄的图像数据中的所述夹具板的不同的记号的位置信息和预先测定的所述记号的间隔来校正由所述摄像机构拍摄的图像数据的位置信息，根据由所述摄像机构拍摄的所述印刷布线板的图像数据来测定所述印刷布线板的所述标记的位置。另外，也可包含将所述载置台的所述夹具板的非中央区域施压至所述载置台的施压机构。所述施压机构也可包含设置在所述载置台或所述夹具板的磁铁。所述施压机构也可包含设置在所述载置台并对所述夹具板施加按压的力或吸引的力的弹性体。另外，也可是:所述载置台具有引导槽；所述夹具板安装在所述引导槽内。根据本专利技术，可不受温度变化影响而使用夹具板来测定印刷布线板。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式的布线板测定装置的构成的概要的侧视图。图2是表示布线板测定装置的构成的概要的俯视图。图3是表示载置台和夹具板的构成的概要的立体图。图4是表示载置台和夹具板的构成的概要的分解立体图。图5是表示载置台变形时的安装载置台和夹具板的情况的模式图。图6是表示印刷在印刷布线板的引导标记的一个示例图。图7是表示变形例中的载置台和夹具板的构成的概要的俯视图。图8是表示变形例中的安装载置台和夹具板的情况的模式图。具体实施例方式使用图对本专利技术的实施方式的布线板测定装置进行说明。布线板测定装置I如图1及图2所示，包括:框架10 ;载置台2，其用来载置作为工件的印刷布线板PCB ;夹具板4，其固定在载置台2上；搬送部3，其移动载置台2 ;摄像部5，其从铅垂上方拍摄载置台2 ;及控制部6，其控制装置整体(在图2中未图示)。以下，将通过搬送部3移动载置台2的方向设为Y方向，将和Y方向垂直且水平的方向设为X方向，将铅垂方向设为Z方向。此外,在图1及图2中，以虚线表示载置台2上的印刷布线板PCB。图1及图2的中空箭头是作业者的起始位置。作业者朝向箭头的方向(Y轴的正方向)站立，将印刷布线板PCB投入至布线板测定装置I中，测定结束后将印刷布线板PCB从布线板测定装置I中取出。印刷布线板PCB的投入和取出在本实施方式中由作业者来进行，但也可由搬送装置来进行。搬送装置可由包含例如通过空气吸附的吸附器的机械臂而构成。载置台2是在上部的载置面上载置印刷布线板PCB，通过搬送部3在Y方向移动。载置台2通过搬送部3支撑在特定的高度，载置面成为水平。如图4所示，在载置台2的Y方向的中央部沿着X方向设置着用来安装夹具板4的引导槽2b。在引导槽2b内的X方向的两端附近埋入设置磁铁2c。另外，在引导槽2b的Y方向两侧形成着吸附孔2a，并连结着将吸附孔2a设为负压的未图示的吸附装置。在载置台2载置着印刷布线板PCB的状态下使吸附孔2a为负压，由此印刷布线板PCB吸附并固定在载置台2上。夹具板4是剖面为长方形且为细长的板形状，例如由殷钢(invar)等线膨胀率较小且不易因温度变化而变形的材料而形成。夹具板4以X方向成为长度方向的方式安装在载置台2的引导槽2b内。在夹具板4上，沿着该长度方向形成着多个小孔40a。如图3所示，多个小孔40a以相邻的小孔40a的间隔LD为等中心间隔的方式贯通夹具板4而形成。以下，在本说明书中小孔40a的间隔是指中心间距离。夹具板4在X方向(长度方向)的中央附近以2行2列共4个点通过螺钉41固定在载置台2上，在比该4点更靠端侧处未使用螺钉固定。即，如图3至图5所示，夹具板4在包含夹具板4的长度方向的中央的长度Lc的中央区域4c (图3及图4中的阴影部)由螺钉41固定在载置台2上。此外，中央区域4c是指连结螺钉41的轴中心而成的矩形区域。另外，通过设置在载置台2的引导槽2b内的X方向两端附近的磁铁2c，夹具板4的长度方向(X方向)的两端被施压至载置台2侧。在本实施方式中，通过磁铁2c吸引夹具板4的两端，接近载置台2。通过这样将夹具板4安装在载置台2上，夹具板4在中央区域4c以4个点固定在载置台2上，因此可抑制夹具板4和载置台2的位置偏移。另外，通过设置在载置台2上的磁铁2c，未固定在载置台2上的夹具板4的两端被施压至载置台2侧，因此可抑制夹具板4的两端从载置台2上浮。图5中表示依据温度变化的载置台2和夹具板4的尺寸的关系。在图5的(a)侧图示了夹具板4安装在载置台2而无温度变化的状态。如图5的(b)侧所示，例如在载置台2因温度变化而热膨胀的情况下，处于中央区域4c的范围内的夹具板4由于由螺钉41固定，所以受到载置台2的热膨胀而导致的变形的影响。具体来说，处于中央区域4c的范围内的小孔40a彼此的间隔LD受到载置台2的热膨胀所导致的变形的影响，和所设计的间隔相比变大。对此，由于比中央区域4c更靠端侧(并非中央区域4c的区域，以下也称为“非中央区域”)未由螺钉固定，所以如图5的(b)侧所示，即便在载置台2受到温度变化的影响而热膨胀的情况下，并非中央区域4c的区域并不受其影响。因而，根据本实施方式，和在夹具板4的长度方向的两端固定着夹具板4和载置台2的情况相比，可降低施加在夹具板4和载置台2的固定部位的力。因此，可抑制夹具板4随着载置台2的变形而变形。尤其可抑制中央区域4c的范围外的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种布线板测定装置，其测定设有位置检测用的标记的印刷布线板的所述标记的位置；其特征在于包含：载置台，其载置所述印刷布线板；夹具板，其形成预先测定间隔的多个记号，在包含长度方向的中央且比长度方向的二分之一狭窄的区域即中央区域内,通过固定机构固定在所述载置台上，且在并非所述中央区域的非中央区域内不固定在所述载置台上。摄像机构，其拍摄所述印刷布线板及所述夹具板；及控制机构，其根据由所述摄像机构拍摄的图像数据中的所述夹具板的不同的记号的位置信息和预先测定的所述记号的间隔来校正由所述摄像机构拍摄的图像数据的位置信息，根据由所述摄像机构拍摄的所述印刷布线板的图像数据来测定所述印刷布线板的所述标记的位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：盐泽育夫，
申请(专利权)人：精工精密有限公司，
类型：发明
国别省市：