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本发明涉及一种半导体器件。夹具板（4）中，以等中心间隔沿着长度方向形成有多个小孔（40a），在长度方向的中央附近的区域即中央区域（4c）中以螺钉（41）固定在载置台（2）上，且在比中央区域（4c）更靠端侧不以螺钉固定在载置台（2）上。另外，...
该专利属于精工精密有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过精工精密有限公司授权不得商用。

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