一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法技术

本发明专利技术提供一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法。通过制作切割辅助装置、安装、固定、振动、激光切割等步骤减少挂渣，改善切口处的锥度问题，从而提高摆片激光切割质量的方法。本发明专利技术通过辅助装置实现精确定位，并且可以在激光切割摆片时加入牺牲片，使未被辅助气体带走的残渣粘附在牺牲片上，能消除摆片切缝附近的挂渣缺陷，同时改善玻璃表面对激光的散射等造成的切口处的锥度；本发明专利技术通过在激光切割的同时加入振动，使激光焦点在摆片厚度内上下移动，改善了因激光能量在焦点的集中造成的摆片厚度方向的能量不均匀，达到了减少切缝锥度、提高摆片结构加工精度和双面图形尺寸一致性的目的，使加工合格率提高10％以上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，具体涉及，属于激光切割

技术介绍
摆片是加速度计的重要组成部分，其形状复杂，并且对尺寸精度和表面质量要求高，其加工质量对加速度计性能有直接影响。摆片通常采用石英玻璃加工而成，除研磨、抛光、切割、清洗等玻璃行业的工艺方法之外，传统机械加工方法的适用性较差，因此在摆片生产中常用到激光等局部热加工的技术以实现摆片精密的结构形式。利用激光的能量集中性对摆片进行局部加热，激光照射点的材料在吸收激光能量后温度急剧升高，以至于熔化和气化，并形成孔洞，以实现局部材料去除的目的。随着激光与工件的相对移动，便形成摆片 所要求的结构。在现有技术中，激光照射后气化的材料被一定压力的辅助气流带走，但由于气化后的石英玻璃温度较高(大于1700°C ),随着与辅助气体的接触，气化后的材料会迅速的重新凝结，并且容易凝结在切缝附近形成牢固的挂渣。此夕卜，由于摆片具有一定的厚度，但激光聚焦在一个平面，而且在摆片表面存在散射和反射现象，因此在厚度方向存在能量不均匀，使得切缝在厚度方向有一定锥度，造成摆片的尺寸精度降低。秦淑斌等在先专利技术的“一种降低摆片激光切割损伤的方法”提供一种在激光加工过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法，其特征在于通过以下步骤实现：第一步，制作切割辅助装置，切割辅助装置包括本体(1)、支撑环(2)、定位孔(3)、紧固螺丝(4)、垫片(5)和基准标记线(6)，支撑环(2)为环形台阶结构，形成上、下两个表面，其中台阶上表面(12)与本体(1)上表面等高，台阶下表面(13)为圆环，在支撑环(2)外侧的本体上加工定位孔(3)和基准标记线(6)，在支撑环(2)外侧的本体上安装紧固螺丝(4)和垫片(5)；第二步，将待加工的摆片安装在切割辅助装置中，将牺牲片和摆片坯料放置在支撑环(2)上，使摆片坯料夹在上下牺牲片之间，利用支撑环(2)周向定位摆片坯料和牺牲片，利用支撑...

【技术特征摘要】
1.一种提高加速度计摆片激光切割质量的方法，其特征在于通过以下步骤实现: 第一步，制作切割辅助装置， 切割辅助装置包括本体(I)、支撑环(2)、定位孔(3)、紧固螺丝(4)、垫片(5)和基准标记线(6)，支撑环(2)为环形台阶结构，形成上、下两个表面，其中台阶上表面(12)与本体(I)上表面等高，台阶下表面(13)为圆环，在支撑环(2)外侧的本体上加工定位孔(3)和基准标记线￠)，在支撑环(2)外侧的本体上安装紧固螺丝(4)和垫片(5)； 第二步，将待加工的摆片安装在切割辅助装置中， 将牺牲片和摆片坯料放置在支撑环(2)上，使摆片坯料夹在上下牺牲片之间，利用支撑环(2)周向定位摆片坯料和牺牲片，利用支撑环(2)的台阶下表面支撑摆片坯料和牺牲片，利用紧固螺丝(4)和垫片(5)使摆片坯料和牺牲片紧密贴合； 第三步，将安装了待加工摆片的切割辅助装置(I)安装在激光机工作台上事先安装的振动装置(7)上，通过定位孔(3)将切割辅助装置(I)定位在振动装置(7)上，并利用切割辅助装置(I)的基准标记线(6)使切割辅助装置(I)与激光机对准，调整激光机激...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦淑斌，袁枫，张兰，向伟荣，郭琳瑞，徐国栋，周峰，杨金耋，
申请(专利权)人：航天科工惯性技术有限公司，
类型：发明
国别省市：