【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于纳米材料制备
，涉及。
技术介绍
二维石墨烯具有电荷分数化的特点，可能是制造量子计算机所需要的任意子元件的合适材料。在石墨烯内嵌入化学掺杂物可能会对载流子迁移率产生影响，巨大的比表面积使它对于周围的环境非常敏感，其独特的二维结构使得石墨烯在传感器领域具有广阔的应用前景。氟化石墨烯在石墨烯表面引入氟原子，使得石墨烯的表面能降低并增强了石墨烯的疏水性。氟化石墨烯可以看作是石墨烯被部分或者全部氟化，石墨中的Sp2结构被部分或者全部转变成SP3结构，但仍然保持二维片状结构，作为最薄的绝缘体被称为二维聚氟乙烯。氟化石墨烯作为特氟龙的替代材料，正成为纳米材料实用化领域一个非常重要的热点研究对象。氟化石墨烯化学稳定性强，有极其优异的电学性能和力学性能，在纳米微观界面、润滑材料、太阳能电池等新兴能源领域具有光明的应用前景。目前制备氟化石墨烯的主要方法是以氟化石墨烯为原料，N-甲基吡咯烷酮作为插层剂，高温超声处理可以得到一定量的氟化石墨烯。其中，氟化石墨是一种新材料，属于石墨深加工产品，其生产技术已经成熟。由于石墨为层状结构，层间碳原子间距是1.42A，通过共...
【技术保护点】
一种利用原子层沉积装置制备氟化石墨烯的方法，其中原子层沉积装置包括：腔体（1），置于腔体内的支撑架（2），玻璃金属转换件（3）和载气瓶（4），载气瓶（4）的出气口分二路，其中一路经第1阀门（5）与腔体的一个进气口相连，另一路经第2阀门（6）与玻璃金属转换件的进气口相连，玻璃金属转换件的出气口经第3阀门（7）与腔体的另一个进气口相连，腔体的出气口经第4阀门（8）与真空泵（9）相连；其特征在于制备方法包括以下步骤：步骤1：将生长有石墨烯的铜箔放置在腐蚀剂溶液中，直至铜箔完全腐蚀干净；步骤2：使用紫外线臭氧发生仪将转移基底表面的有机杂质处理干净，利用转移基底将步骤1漂浮在腐蚀剂溶...
【技术特征摘要】
1.一种利用原子层沉积装置制备氟化石墨烯的方法，其中原子层沉积装置包括:腔体(1)，置于腔体内的支撑架(2)，玻璃金属转换件(3)和载气瓶(4)，载气瓶(4)的出气口分二路，其中一路经第I阀门(5)与腔体的一个进气口相连，另一路经第2阀门(6)与玻璃金属转换件的进气口相连，玻璃金属转换件的出气口经第3阀门(7)与腔体的另一个进气口相连，腔体的出气口经第4阀门(8)与真空泵(9)相连；其特征在于制备方法包括以下步骤: 步骤1:将生长有石墨烯的铜箔放置在腐蚀剂溶液中，直至铜箔完全腐蚀干净； 步骤2:使用紫外线臭氧发生仪将转移基底表面的有机杂质处理干净，利用转移基底将步骤I漂浮在腐蚀剂溶液表面的石墨烯平行捞起； 步骤3:将附有石墨烯的转移基底依次在去离子水、乙醇和丙酮中清洗，并用气体吹干; 步骤4:将经步骤3处理的附有石墨烯的转移基底平行放置在原子层沉积装置反应腔体的支撑架上，取5 50g氟化剂放置在原子层沉积装置的玻璃金属转换件中； 步骤5:保持反应腔体温度为250°C，并且开启真空泵，利用真空泵将反应腔体的真空度控制在ImTorr以内，关闭第I 第4...
【专利技术属性】
技术研发人员：林时胜，董策舟，
申请(专利权)人：杭州格蓝丰纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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