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本发明公开的利用原子层沉积装置制备氟化石墨烯的方法，主要包括将石墨烯通过转移基底放置在原子层沉积装置的支撑架上，利用玻璃金属转换件内氟化剂的蒸发进入原子层沉积装置的腔体，并使得石墨烯吸附氟原子，实现氟化石墨烯的可控制备。该方法工艺流程完全可...
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