补液装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种补液装置，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。本实用新型专利技术提供的补液装置，可随着化学药液的反复使用，药液的浓度变化，定时定量的补给，能够维持一定的药液浓度，从而保证工艺效果，操作简单。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体清洗
，特别涉及一种补液装置。
技术介绍
在半导体行业内，在很多工序上都需要对硅片进行各种清洗，在清洗的过程中会使用到各种化学液，并且各种化学液的浓度和成分比例各不相同，当混合配比时或使用一段时间后，药液的浓度都会发生变化，需要补给一定量的药液或超纯水。一般情况下，化学液都需要放在化学容器中(如槽或罐)，首先在容器中加入一定容量的化学液，此药液的浓度已经满足要求的浓度。在使用过程中容器中化学液会被反复使用，在反复循环的过程中，药液的浓度会发生变化，又需要补充化学液或者超纯水。因此需要定期对容器内的化学液进行定量补给。目前，对药液或者超纯水的补给多采用计量泵等，需要信号控制或者反馈等，虽然能够实现精确的补给，但是体积较大并且相应的控制和结构等较复杂，而且成本较闻。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种补液装置，可以实现液体的多种体积量的精确补给，从而可以在设定时间将精确的定量的液体定时分配到相关工艺单元。(二)技术方案本技术提供一种补液装置，包括储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种补液装置，其特征在于，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。

【技术特征摘要】
1.一种补液装置，其特征在于，包括:储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。2.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述化学药液供给管路上设有化学药液供给气动阀。3.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述超纯水供给管路上设有超纯水供给气动阀。4.如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述超纯水定量补给管路上设有超纯水定量...

【专利技术属性】
技术研发人员：初国超，何金群，王营营，裴立坤，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：