化学药液供给系统技术方案

本发明专利技术涉及自动化控制技术，具体公开了一种化学药液供给系统。所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：供液装置分别与主用储液罐、备用储液罐以及控制器相连接；主用储液罐及备用储液罐用于储存并提供化学药液；供液装置用于接收控制器的指令，并根据指令将主用储液罐或备用储液罐中的化学药液输送给外部设备；控制器用于控制供液装置将化学药液输送给外部设备。本发明专利技术提出的化学药液供给系统能够在不间断供给的情况下更换药液储液罐，液体流动相对封闭，且能够解决药液流量变化较大时同一套供液系统不兼容的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及自动化控制
，特别涉及一种化学药液供给系统。
技术介绍
在半导体行业中，在很多工序上都会使用到各种化学药液，而在工艺过程中使用的化学药液原液都是由设备外部提供，再根据自身工艺要求在设备内部进行一定比例的稀释或混合。现阶段市场上的化学药液原液大多是已经按照一定体积灌装好的标准品，所以在半导体行业中便需要一套能够将灌装好的化学药液输送到不同设备去的化学药液供给系统。由于所输送的化学药液多为浓度较高的酸性或碱性液体，具有较强的腐蚀性和危险性，同时也要防止外界环境对药液造成污染，以免影响半导体工艺效果，所以在输送过程中要避免药液与操作人员直接接触或直接暴露于工作环境中。同时，由于半导体行业的连续作业以及工艺对药液流量的要求，如果在工艺过程中出现药液供给突然间断将会造成重大影响。现有药液检测大多是提前检测，即使用液位传感器检测灌装原液的最低液位，当到达设定的最小体积时就要更换原液，这样虽然避免了药液供给中断的危险，但会造成一定程度的浪费。
技术实现思路
(一)所要解决的技术问题本专利技术的目的在于提供一种能够自动控制化学药液供给的系统，能够在不间断供给的情况下更换药液储液罐，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学药液供给系统，其特征在于，所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中：所述供液装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐以及所述控制器相连接；所述主用储液罐及所述备用储液罐用于储存并提供化学药液；所述供液装置用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送给外部设备；所述控制器用于控制所述供液装置将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送给外部设备。

【技术特征摘要】
1.一种化学药液供给系统，其特征在于，所述系统包括主用储液罐、备用储液罐、供液装置和控制器，其中 所述供液装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐以及所述控制器相连接； 所述主用储液罐及所述备用储液罐用于储存并提供化学药液； 所述供液装置用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送给外部设备； 所述控制器用于控制所述供液装置将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送给外部设备。2.根据权利要求1所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述供液装置具体包括供液管路、供液气动阀、供液泵和供液出口手阀，其中 所述供液管路的进液口分别与所述主用储液罐及所述备用储液罐的底部相连，所述供液管路的出液口与所述供液出口手阀相连，用于输送化学药液； 所述供液气动阀与所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令控制所述供液管路的连通或闭合； 所述供液泵用于将所述主用储液罐或所述备用储液罐中的化学药液输送到所述供液出口手阀； 所述供液出口手阀用于将所述供液管路中的化学药液输送给外部设备。3.根据权利要求2所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述供液管路的进液口还安装有液位传感器， 所述液位传感器与所述控制器相连，用于采集所述主用储液罐或所述备用储液罐的液位信息，并将所述液位信息传送给所述控制器。4.根据权利要求2所述的化学药液供给系统，其特征在于，所述系统还包括回液装置， 所述回液装置分别与所述主用储液罐、所述备用储液罐、所述供液装置及所述控制器相连，用于接收所述控制器的指令，并根据所述控制器的指令将所述供液管路中的部分化学药液回送到所述主用储液罐或所述备用储液罐。5.根据权利要求4所述的化学药液供给系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：初国超，何金群，裴立坤，王锐廷，王营营，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：