利用引入射流柱中的激光束的激光加工装置制造方法及图纸

一种利用引入射流柱中的激光束的激光加工装置，包括用于把射流喷射到工件的管嘴和用于向所述管嘴供给射流的流体供给装置，其中激光束被引入从管嘴喷射出的射流柱中。所述激光加工装置进一步包括用于在层流状态下向管嘴供给射流的层流形成通道。层流形成通道包括由空腔形成的用于围绕管嘴的轴线环形分配射流的分配通道，射流从流体供给装置供给，还包括在管嘴的轴向中其下游侧处与分配通道相连通设置的互联通道，互联通道由围绕管嘴的轴线的环形空腔形成以提供比分配通道更窄的流动通道，以及邻近管嘴的轴向中的管嘴的上游设置的流体贮存腔，所述流体贮存腔储存将供给到管嘴的射流。流体贮存腔具有在其环形的整个圆周上与互联通道相连通的外周边。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种利用引入射流柱(jet liquid column)中的激光束的 激光加工(处理)装置。更特别地，本专利技术涉及一种利用引入射流柱 中的激光束的激光加工装置，该装置可以提高激光束的传播效率，并 可以保证稳定的加工质量。至今为止，已知一种将激光束照射到用于电镀或蚀刻的电解液的 射流柱中的装置，该装置利用将激光束引入穿过射流柱的技术在基板 上执行电镀或蚀刻。还已知一种利用水柱和激光束来切割待治疗部分 的治疗装置，其将激光束照射到水柱中，且利用全反射使激光束在水 柱中传播。这种通过全反射将激光束引入流体柱中的技术应用于各个领域 中。在激光加工领域中，已知一种激光加工装置，其中通过在喷射液体的同时发射激光束来执行期望的激光加工(例如，PCT日本翻译专 利公开No. Hei 10-500903 (专利文件l)，图2)。在已知的激光加工装 置中，其中具有喷嘴通道用来喷射流体柱束(射流柱)的喷管管夹 (nozzle block)设置在加工头的末端，通过聚焦镜头将激光束聚集到 喷嘴通道的入口，从而激光束被引入从喷嘴通道射出的流体柱中。此夕卜，在已知的激光加工装置中，主要使用Y本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光加工装置，包括用于产生激光束的激光振荡器，用于把射流喷射到工件的管嘴，以及用于向所述管嘴供给所述射流的流体供给装置，所述激光束被引入从所述管嘴喷射出的射流柱中，所述激光加工装置进一步包括：　用于在层流状态下向所述管嘴供给所述射流的层流形成通道，　所述层流形成通道包括：　由空腔形成的用于围绕所述管嘴的轴线环形分配所述射流的分配通道，所述射流从所述流体供给装置供给；　在所述管嘴的轴向中其下游侧处与所述分配通道相连通设置的互联通道，所述互联通道由围绕所述管嘴的轴线的环形空腔形成以提供比分配通道更窄的流动通道；以及　邻近所述管嘴的轴向中的管嘴的上游设置的流体贮存腔，所述流体贮存腔储存将供给到管...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：村椿良司，永田幸明，杉森正，
申请(专利权)人：速技能机械有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]