一种检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种检测装置，包括腔体（10），压力检测件（20），主管路阀门（30），氦质谱检漏仪装置(40)，腔体抽空装置(50)，微水仪装置(60)，六氟化硫气源(70)，氦气气源(80)，和氮气气源(90)及其分管路。采用本实用新型专利技术，可有效提高抽真空效率，减少人为疏忽导致产品质量问题。亦可有效提高六氟化硫全密封全绝缘充气柜生产的一个最重要的工序，即六氟化硫充注的生产效率及整个产品的质量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种检测装置，尤其涉及一种氦气检漏和微水仪检测装置。
技术介绍
目前的六氟化硫全密封全绝缘充气柜的生产大部分都是采用传统的肥皂水检漏或六氟化硫检漏仪检漏，抽真空效率都较低。肥皂水检漏法由人肉眼判断，易因人为疏忽漏判漏点造成产品质量问题。而六氟化硫检漏仪检测精度低，同样易因为操作失误或者人为疏忽导致出现产品质量问题。现有技术下，六氟化硫全密封全绝缘充气柜生产过程的四个重要步骤抽真空，检漏，充注六氟化硫，测微水含量。期间某一步骤结束后，需人工连接器件进行下一步骤，生产效率不高，且检漏方法和设备相对原始，检测精度不高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于，提供一种检测装置。可提高抽真空效率，减少人为疏忽导致产品质量问题。同时，亦可有效提高六氟化硫全密封全绝缘充气柜的生产效率。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种检测装置100，所述检测装置100包括腔体10，压力检测件20，主管路阀门30，氦质谱检漏仪装置40，腔体抽空装置50，微水仪装置60，六氟化硫气源70，氦气气源80，和氮气气源90及其分管路；所述腔体(10)的外壳部连接三个支路，其一支路通过第一管路(11)连接第二真空计(23)，其二支路通过第二管路(12)分别接入第三阀门(33)和氦质谱检漏仪装置(40)，其三支路通过第三管路(13)连接第一阀门(31)后再分三条支路 ，为第四管路(14)，第五管路(15)和第六管路(16)，所述第四管路(14)连接第一 真空计(22)，所述第五管路(15)连接第二阀门(32)后再分两条支路，为第七管路(17)和第八管路(18)，所述第七管路(17)连接气压表(21)后，接入被检测物(200)内，所述第八管路(18)连接第十阀门(34)后再分四个支路，分别接入微水仪装置(60)，六氟化硫气源(70)，氦气气源(80)，和氮气气源(90)四个组件，所述第六管路(16)在其终端接入腔体抽空装置(50)。其中，所述氦质谱检漏仪装置(40)包括第四阀门(41)，氦质谱检漏仪本体(42)，和前级泵(43)，所述第四阀门(41)是电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接所述第二管路(12 )，另一端依次连接氦质谱检漏仪(42 )和前级泵(43 )。其中，所述腔体抽空装置(50)包括第五阀门(51)和主抽泵组(52)，所述第五阀门 (51)其一端连接所述第六管路(16)，另一端连接所述主抽泵组(52)。其中，所述微水仪装置￠0)包括第六阀门￠1)和微水仪本体(62)，所述第六阀门(61)，其一端连接所述第八管路(18)，另一端连接微水仪本体(62)。其中，所述六氟化硫气源(70)包括第七阀门(71)和六氟化硫储气罐(72)，所述第七阀门(71)其一端连接第八管路(18)，另一端连接六氟化硫储气罐(72);所述氦气气源(80)包括第八阀门(81)和氦气储气罐(82)，所述第八阀门(81)其一端连接第八管路(18)，另一端连接氦气储气罐(82);所述氮气气源(90)包括第九阀门(91)和氮气储气罐(92)，所述第九阀门(91)其一端连接第八管路(18)，另一端连接氮气储气罐(92)。本技术将六氟化硫全密封全绝缘充气柜的生产即六氟化硫充注，和氦质谱仪检漏仪及微水测量仪结合到一个系统，整个过程由电控装置控制，系统自动完成被测物工件的抽真空、氦气检漏、充注六氟化硫、测微水含量的全部过程，大大提高了生产效率，也有效的提闻了广品质量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术的结构示意图。图2是本技术的主管路阀门示意图。图3是本技术图的电控原理图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参阅图1和图2，为本技术提供的一种检测装置100，所述检测装置100用于检测被测物工件200是否存在渗漏。所述被测物工件200为一密封壳体工件。所述检测装置100包括腔体10、压力检测件20、主管路阀门30、氦质谱检漏仪装置40、腔体抽空装置50、微水仪装置60、六氟化硫气源70、氦气气源80、氮气气源90及其各分管路。所述被测物工件200完全置于腔体10内部。所述腔体10的外壳部连接三个支路，其一支路通过第一管路11连接第二真空计23，其二支路通过第二管路12分别接入第三阀门33和氦质谱检漏仪装置40，其三支路通过第三管路13连接第一阀门31后再分三条支路，分别为第四管路14，第五管路15和第六管路16，所述第四管路14连接第一真空计22，所述第五管路15连接第二阀门32后再分两条支路，分别为第七管路17和第八管路18，所述第七管路17连接气压表21后，接入被检测物工件200内，所述第八管路18连接第十阀门34后再分四个支路，分别接入微水仪装置60，六氟化硫气源70，氦气气源80，和氮气气源90四个组件，所述第六管路16在其终端接入腔体抽空装置50。所述压力检测件20包括气压表21，第一真空计22和第二真空计23。所述气压表21连接于所述第七管路17上，用于测试被测物工件200内的压强。所述第一真空计22连接于所述第四管路14上，用于检测被测物工件200内的真空度。所述第二真空计23通过第一管路11连接与腔体10外壳部，用于检测腔体10的真空度。所述主管路阀门30为电磁气动挡板角阀，包括第一阀门31，第二阀门32，第三阀门33。所述第一阀门31连接于第三管路13上，所述第二阀门32连接于第五管路15上，所述第三阀门33连接于第二管路12上，用于向腔体10注入空气以平衡被测物工件200内外压差。所述氦质谱检漏仪装置40包括第四阀门41，氦质谱检漏仪本体42，和前级泵43。所述第四阀门41是电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接所述第二管路12，另一端依次连接氦质谱检漏仪42和前级泵43。所述氦质谱检漏仪42为LDS2010型号。所述前级泵43的型号为GLD-N136，用于抽空氦质谱检漏仪42及其第二管路12。所述腔体抽空装置50包括第五阀门51和主抽泵组52。所述第五阀门51为电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接所述第六管路16，另一端连接所述主抽泵组52。所述主抽泵组52为TRIVAC-D40C型号，用于腔体10和被测物工件200的抽真空。所述微水仪装置60包括第六阀门61和微水仪本体62。所述第六阀门61为电磁气动高真空挡板角阀，其一端连接所述第八管路18，另一端连接微水仪本体62。所述微水仪本体62为WL-1II型号，参数为1.测量范围-80°C -+20°C,2.测量精度±2°C (-80 °C—-50°C);±1°C (_49°C—+20°C )。3.测量时间小于3分钟/点4.米样流量300ml/min±本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测装置，其特征在于，包括腔体（10）、压力检测件（20）、主管路阀门（30）、氦质谱检漏仪装置(40)、腔体抽空装置(50)、微水仪装置(60)、六氟化硫气源(70)、氦气气源(80)、和氮气气源(90)及其各分管路;?所述腔体(10)的外壳部连接三个支路，其一支路通过第一管路(11)连接第二真空计(23)，其二支路通过第二管路（12）分别接入第三阀门（33）和氦质谱检漏仪装置（40），其三支路通过第三管路（13）连接第一阀门（31）后再分三条支路，为第四管路（14），第五管路（15）和第六管路（16），所述第四管路（14）连接第一真空计(22)，所述第五管路(15)连接第二阀门(32)后再分两条支路，为第七管路(17)和第八管路(18)，所述第七管路(17)连接气压表（21）后,接入被检测物(200)内，所述第八管路(18)连接第十阀门(34)后再分四个支路，分别接入微水仪装置(60)，六氟化硫气源(70)，氦气气源(80)，和氮气气源(90)四个组件，所述第六管路(16)在其终端接入腔体抽空装置(50)。

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，包括腔体(10)、压力检测件(20)、主管路阀门(30)、氦质谱检漏仪装置(40)、腔体抽空装置(50)、微水仪装置￠0)、六氟化硫气源(70)、氦气气源(80)、和氮气气源(90)及其各分管路； 所述腔体(10)的外壳部连接三个支路，其一支路通过第一管路(11)连接第二真空计(23)，其二支路通过第二管路(12 )分别接入第三阀门(33 )和氦质谱检漏仪装置(40 )，其三支路通过第三管路(13)连接第一阀门(31)后再分三条支路，为第四管路(14)，第五管路(15)和第六管路(16)，所述第四管路(14)连接第一真空计(22)，所述第五管路(15)连接第二阀门(32)后再分两条支路，为第七管路(17)和第八管路(18)，所述第七管路(17)连接气压表(21)后，接入被检测物(200)内，所述第八管路(18)连接第十阀门(34)后再分四个支路，分别接入微水仪装置(60)，六氟化硫气源(70)，氦气气源(80)，和氮气气源(90)四个组件，所述第六管路(16)在其终端接入腔体抽空装置(50)。2.如权利要求1所述一种检测装置，其特征在于，所述氦质谱检漏仪装置(40)包括第四阀门(41)，氦质谱...

【专利技术属性】
技术研发人员：高杰，戴船海，
申请(专利权)人：深圳市飞越开关设备有限公司，深圳市飞越电气设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：