一种用于磁传感器的电桥模块制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于磁传感器的电桥模块，该电桥模块包括四个桥臂和多个焊盘，每个桥臂包括串联的2N(N=1,2,3,4,5……)个MTJ元件组，该电桥模块具有多层膜结构，包括设于基片上的形成多个下导电层的第一导电层，所述下导电层上设有形成所述MTJ元件组的MTJ元件层，所述下导电层上还设有形成所述多个焊盘的第二导电层，所述MTJ元件层上设有形成多个上导电层的第三导电层；所述电桥模块的对应桥臂的MTJ元件组的位置相邻。与现有技术的电桥模块相比，本实用新型专利技术提供的电桥模块能够较容易地实现对应桥臂的电阻值相等，非常适于在磁传感器中应用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种电桥模块，特别涉及一种用于磁传感器的电桥模块。
技术介绍
如图1所不，电桥包括四个桥臂即第一桥臂ARM1、第二桥臂ARM2、第三桥臂ARM3和第四桥臂ARM4。为了保证该电桥能够正常工作，需要第一桥臂ARMl和第三桥臂ARM3的电阻值相等，且第二桥臂ARM2和第四桥臂ARM4的电阻值相等。第一桥臂ARMl和第三桥臂ARM3被定义为该电桥的第一组对应桥臂。同理，第二桥臂ARM2和第四桥臂ARM4被定义为该电桥的第二组对应桥臂。电桥模块的应用非常广，很多电子器件中都需要电桥模块。通常，一个磁传感器中需要几个甚至几十个电桥模块。现有技术中，用于磁传感器中的电桥模块很难实现对应桥臂的电阻值相等，导致该电桥模块的性能降低，甚至导致该电桥模块无法正常工作。实际应用中，用于磁传感器中的电桥模块的每一个桥臂包括串联和/或并联的多个磁隧道结(MTJ)元件。对于这种电桥模块，由于组成电桥的MTJ元件的结构、电路布局以及制造工艺的影响，很难实现第一桥臂ARMl和第三桥臂ARM3的电阻值相等且第二桥臂ARM2和第四桥臂ARM4的电阻值相等，从而经常导致该电桥的性能降低甚至无法正常工作，进而导本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于磁传感器的电桥模块，该电桥模块包括四个桥臂和多个焊盘，每个桥臂包括串联的2N个MTJ元件组，N=1,2,3,4,5……，其特征在于，该电桥模块具有多层膜结构，包括设于基片上的形成多个下导电层的第一导电层，所述下导电层上设有形成所述MTJ元件组的MTJ元件层，所述下导电层上还设有形成所述多个焊盘的第二导电层，所述MTJ元件层上设有形成多个上导电层的第三导电层；所述电桥模块的对应桥臂的MTJ元件组的位置相邻。

【技术特征摘要】
1.用于磁传感器的电桥模块，该电桥模块包括四个桥臂和多个焊盘，每个桥臂包括串联的2N个MTJ元件组，N=l，2，3，4，5……，其特征在于，该电桥模块具有多层膜结构，包括设于基片上的形成多个下导电层的第一导电层，所述下导电层上设有形成所述MTJ元件组的MTJ元件层，所述下导电层上还设有形成所述多个焊盘的第二导电层，所述MTJ元件层上设有形成多个上导电层的第三导电层；所述电桥模块的对应桥臂的MTJ元件组的位置相邻。2.根据权利要求1所述的用于磁传感器的电桥模块，其特征在于，两组对应桥臂的MTJ兀件组分别位于所述电桥模块的两端；位于所述电桥模块同一端的一组对应桥臂的一个桥臂的MTJ元件组与另一个桥臂的MTJ元件组分别一一对应，且对应的MTJ元件组的位置最相邻。3.根据权利要求1所述的用于磁传感器的电桥模块，其特征在于，当N> ...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建国，
申请(专利权)人：王建国，
类型：实用新型
国别省市：