【技术实现步骤摘要】
本技术涉及便携式气体微流量校准装置，属于测量
，用于微小流量真空漏孔、检漏仪及气体微流量计的实验室、现场和在线校准测试。
技术介绍
泄漏检测技术在航天、表面、微电子、太阳能、光电子等科研生产中具有重要的意义，随着科技进步与发展，需要对真空漏孔、检漏仪及气体微流量计进行现场或在线校准测试，这样使校准条件与使用条件基本相同，不仅提高了泄漏检测的精度，而且避免了因为停止工作系统送往实验室校准的经济损失和时间浪费，因此在科研、生产制造中提出了在线气体微流量校准测试的紧迫需求。文献“固定流导法真空漏孔校准装置”，《真空科学与技术学报》第26卷、2006年第5期、第358 362页”，介绍了固定流导法校准真空漏孔的方法，需要多台真空泵和真空规等，并且系统复杂庞大、成本昂贵，只适合在实验室校准用，不能满足现场真空漏孔、检漏仪及气体微流量计的校准需求。因此，本专利研制出具有结构简单、精度高、重量小、体积小、便携等特点，用于现场或者线真空漏孔、检漏仪、气体微流量计的校准测试系统及方法，系统总重量小于40公斤，总体尺寸小于50mmX 30mmX 60mm,校准范围为10 7 I X 10 11PamVs,合成标准不确定度为3%，满足了目前绝大多数领域对真空漏孔、检漏仪及气体微流量计的现场或在线高精度校准需求。
技术实现思路
本技术针对真空漏孔、检漏仪及气体微流量计现场校准的需求，提出了便携式气体微流量校准装置。本技术的目的是通过以下技术方案实现的本技术的便携式气体微流量校准装置，包括机械泵1、分子泵2、第一真空阀门3、第二真空阀门4、第三真空阀门8、第四真空阀门10、第五真空...
【技术保护点】
便携式气体微流量校准装置，其特征在于：包括机械泵(1)、分子泵(2)、第一真空阀门(3)、第二真空阀门(4)、第三真空阀门(8)、第四真空阀门(10)、第五真空阀门(11)、第六真空阀门(15)、第七真空阀门(17)、第八真空阀门(19)、校准室(5)、四极质谱计(6)、被校准真空漏孔(7)、小孔(9)、微调阀(12)、气源(13)、第一真空规(14)、第二真空规(18)和稳压室(16)；机械泵(1)与分子泵(2)的一端连接，分子泵(2)的另一端与第一真空阀门(3)的一端、第二真空阀门(4)的一端连接；第二真空阀门(4)的另一端与校准室(5)的底端连接；第一真空阀门(3)的另一端与稳压室(16)连接；校准室(5)的赤道法兰上安装四级质谱计6和第八真空阀门(19)，校准室(5)的顶端与第三真空阀门(8)的一端、小孔(9)的一端、第四真空阀门(10)的一端连接；第三真空阀门(8)的另一端与被校准真空漏孔(7)连接；小孔(9)的另一端与第四真空阀门(10)的另一端、第五真空阀门(11)的一端连接；第四真空阀门(10)的另一端与第五真空阀门(11)的一端连接；第五真空阀门(11)的另一端与微调...
【技术特征摘要】
1.便携式气体微流量校准装置，其特征在于包括机械泵(I)、分子泵(2)、第一真空阀门(3)、第二真空阀门(4)、第三真空阀门(8)、第四真空阀门(10)、第五真空阀门(11)、第六真空阀门(15)、第七真空阀门(17)、第八真空阀门(19)、校准室(5)、四极质谱计(6)、被校准真空漏孔(7)、小孔(9)、微调阀(12)、气源(13)、第一真空规(14)、第二真空规(18)和稳压室(16)； 机械泵(I)与分子泵(2)的一端连接，分子泵(2)的另一端与第一真空阀门(3)的一端、第二真空阀门(4)的一端连接；第二真空阀门(4)的另一端与校准室(5)的底端连接；第一真空阀门(3)的另一端与稳压室(16)连接；校准室(5)的赤道法兰上安装四级质谱计6和第八真空阀门(19)，校准室(5)的顶端与第三真空阀门(8)的一端、小孔(9)的一端、第四真空阀门(10)的一端连接；第三真空阀门(8)的另一端与被校准真空漏孔(7)连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢耀文，
申请(专利权)人：江苏东方航天校准检测有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。