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本实用新型涉及便携式气体微流量校准装置，属于测量技术领域，用于微小流量真空漏孔、检漏仪及气体微流量计的实验室、现场和在线校准测试。包括机械泵、分子泵、8个真空阀门、校准室、四极质谱计、被校准真空漏孔、小孔、微调阀、气源、2个真空规和稳压室。...
该专利属于江苏东方航天校准检测有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏东方航天校准检测有限公司授权不得商用。

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