【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学设计领域,尤其涉及一种单色、结构简单、光束准直、应用于共焦显微技术测量面型领域的激光扩束准直系统。
技术介绍
面型测量在各个方面都有所体现,例如镜头设计的面型检测,检测其是否达到要加工的面型精度;微电子领域,检查元器件的面型;在微光学领域也有所体现,总之,面型的检测是一项很重要的技术。国内外不少学者都纷纷对这项技术进行研究,取得不少进展。近年来,随着科技理论和信息技术的不断发展,面型测量技术也向着迅速高精度的方向发展。传统的接触式方法已经不能满足这些特定场合的应用,采用非接触光学方法测量面型已经成为研究的焦点。尤其国内外学者对共焦显微技术测量面型进行广泛的研究和讨论。共焦显微技术是于1957年由M. Minsky首次提出。其中,共焦显微技术基本的原理是光通过照明物镜形成发散的光束入射到半透半反射镜,经过其反射到显微物镜上聚集于物体表面,反射回来的光束再次透过显微物镜,半透半反射镜,探测针孔到达探测器焦平面上。随后,在T. Wilson、C. J. R. shepperd等人的努力之下,共焦显微技术基础理论得到进一步的完善,共焦显微技术有着重要的优点是别的技术不能比拟的。例如光学层切的性质是共焦扫描显微术的主要的优点之一。在国内外的学者不断努力之下,将共焦显微技术应用到生物医学、电子技术学,材料学,测量等领域。由共焦显微技术的基本原理可知光源位置,探测针孔位置,显微物镜的焦点位置两两互为共轭关系,它们的位置受共轭关系限制。国内外学者之前所研究的共焦显微技术基本上都属于有限远距共焦显微
但是,随着技术的发展需要,在20世纪80年代初 ...
【技术保护点】
单色激光扩束准直系统,其特征在于所述扩束准直系统包括沿同一光轴从平行光源到物面依次排列的光阑(1)、弯月型透镜(2)、双凹透镜(3)、鼓型透镜(4)和理想透镜(5);其中:设激光扩束准直系统的焦距为????????????????????????????????????????????????,入瞳直径为,出瞳直径为,总长,则,,,。2013100101900100001dest_path_image001.jpg,90634dest_path_image002.jpg,2013100101900100001dest_path_image003.jpg,675330dest_path_image004.jpg,2013100101900100001dest_path_image005.jpg,625969dest_path_image006.jpg,2013100101900100001dest_path_image007.jpg,570791dest_path_image008.jpg
【技术特征摘要】
1.単色激光扩束准直系统,其特征在于所述扩束准直系统包括沿同一光轴从平行光源到物面依次排列的光阑(I)、弯月型透镜(2)、双凹透镜(3)、鼓型透镜(4)和理想透镜(5);其中设激光扩束准直系统的焦距为/入瞳直径为D,出瞳直径为D B、长I2.根据权利要求1所述的单色激光扩束准直系统,其特征在于所述光阑(I)离弯月型透镜(2)的距离为1_。3.根据权利要求1或2所述的单色激光扩束准直系统,其特征在于所述弯月型透镜(2)弯向光阑(1)。4.根据权利要求1所述的单色激光扩束准直系统,其特征在于所述理想透镜(5)与鼓型透镜(4)第二面(4-1)的距离为165_。5.根据权利要求1、2或4所述的单色激光扩束准直系统,其特征在于所述弯月型透镜(2)、双凹透镜(3)、鼓型透镜(4)的材料...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈刚义,丛海佳,张旺,张爱红,孙永雪,胡海力,赵晓,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:
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