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单色激光扩束准直系统技术方案
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文档序号:8593294
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单色激光扩束准直系统,属于光学设计领域。为了有效解决共焦显微技术测量面型的光学系统特定光源问题,本发明的扩束准直系统包括沿同一光轴从平行光源到物面依次排列的光阑(1)、弯月型透镜(2)、双凹透镜(3)和鼓型透镜(4)组成的激光扩束准直物镜组...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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