一种波导阵列多光束整形装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及激光技术领域，公开了一种波导阵列多光束整形装置，包括激光光源、耦合光学系统，还包括整形波导阵列和整形透镜组；所述整形波导阵列具有多个波导通道；所述激光光源包括多个激光器，发出的多束激光经耦合光学系统分别耦合到整形波导阵列的不同波导通道中，经整形波导阵列整形之后，各激光光束以相同的模场直径和相同的偏振方向输出，最后经整形透镜组平行输出。该装置采用平面波导阵列结构同时对多个不同波长的激光光束进行整形和空间排列布置，以满足生物医学应用中对多波长激光光束质量及光束空间位置关系的要求，同时大大降低了激光光束整形与光束空间排列的难度，而且该装置具有体积小、精度高等优点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种波导阵列多光束整形装置
本技术涉及激光
，尤其涉及一种波导阵列多激光光束整形装置。
技术介绍
在集成光学领域，平面光波导技术，因采用半导体制程，不仅具有低成本潜力，而且具有整合器件能力，被视为集成光学拼图中重要的一块。目前，平面光波导被广泛应用于光通信领域，通常采用多通道波导，在输入输出端都与光纤或光纤阵列耦合，例如基于平面光波导IXN分路器、NXN耦合器。这类应用中，通常输入输出光具有相同的波长、光束质量。在生物医学应用中，例如流式细胞仪中，由于使用的许多荧光染料具有独特的光谱特性，经常需要使用多种具有不同波长的光源，即细胞液流通过路径的激光照射区域可能同时有多个激光束照射，样品颗粒或细胞以连续的方式被每个光束照射，分别激发产生荧光。为保证测量的精度与准确性，除了特定激光波长之外，对于激光光束的尺寸、形状、偏振都有特定的要求。在流式细胞仪中，经常使用的激光波长有除532nm、561nm等波长通常采用固体激光光源外，其它如405nm、488nm、640nm等波长通常采用半导体激光器。半导体激光器通常具有较差的光束质量，且快慢轴发散角不同，要得到能满足要求的光束，通常本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波导阵列多光束整形装置，包括激光光源、耦合光学系统，其特征在于：还包括整形波导阵列和整形透镜组；所述整形波导阵列具有多个波导通道；所述激光光源包括多个激光器，发出的多束激光经耦合光学系统分别耦合到整形波导阵列的不同波导通道中，经整形波导阵列整形之后，各激光光束以相同的模场直径和相同的偏振方向输出，最后经整形透镜组平行输出。

【技术特征摘要】
1.一种波导阵列多光束整形装置，包括激光光源、耦合光学系统，其特征在于还包括整形波导阵列和整形透镜组；所述整形波导阵列具有多个波导通道；所述激光光源包括多个激光器，发出的多束激光经耦合光学系统分别耦合到整形波导阵列的不同波导通道中，经整形波导阵列整形之后，各激光光束以相同的模场直径和相同的偏振方向输出，最后经整形透镜组平行输出。2.如权利要求I所述一种波导阵列多光束整形装置，其特征在于所述整形波导阵列各波导通道之间的间距在输入端面处与输出端面处不同。3.如权利要求I所述一种波导阵列多光束整形装置，其特征在于所述整形波导阵列的输入端面和输出端面均不与该整形波导阵列平面垂直，具有一倾斜角度。4.如权利要求I所述一种波导阵列多光束整形装置，其特征在于所述整形波导阵列 的输入端面和输出端面均镀有对各激光波长增透的介质膜。5.如权利要求I所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李大汕，张哨峰，邓鹏，杨金涛，吕超，沈渊，
申请(专利权)人：上海高意激光技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：