【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及刻划装置,特别是涉及一种玻璃、陶瓷、硅、蓝宝石等脆性材料基板的刻划装置。
技术介绍
现有习知,作为将大型的玻璃基板断开为单位基板(单位制品)的方法,例如专利文献I所示,已知有利用局部加热的热应力在基板形成刻划线(龟裂),继而将形成有刻划线的基板送入断裂装置,利用断裂棒或断裂辊等进行按压,借此,沿刻划线进行断开的方法。利用热应力形成刻划线的刻划方法使用激光光束作为加热源。S卩,在工作台上载置基板,对基板上假定的刻划预定线照射激光光束,形成作为局部的加热区域的激光点。进而,自冷却单元的喷嘴喷射冷媒,将作为冷却区域的冷却点形成于激光点的后方位置。继而,沿着假定的刻划预定线移动激光点,并且以追随该激光点的方式移动冷却点。借此,利用借由先行的加热及其后的急冷而产生的热应力,以预先形成于基板的端部的初期龟裂(触发)为起点,使龟裂在刻划预定线的方向延展,借此,形成一条刻划线。以此方式,如图3所示,在第I刻划步骤中以等间距形成多条单向(X方向)的刻划线LI之后,在第2刻划步骤中以等间距形成与X方向的刻划线正交的Y方向的多条刻划线L2。其后,将由X方向及Y方向的刻划 ...
【技术保护点】
一种刻划装置,具备:工作台,其载置脆性材料基板;刻划头,其对该脆性材料基板进行加热及冷却;及移动机构,其使该刻划头相对该工作台移动;该刻划头具备:激光照射部,其对该工作台上的脆性材料基板照射激光光束,形成作为加热区域的激光点;及冷媒喷射部,其朝向该激光点的移动方向后方位置喷射包含液体的冷媒,形成作为冷却区域的冷却点;沿着该基板假定的刻划预定线,使该激光点及该冷却点依序移动,形成热应力的刻划线;其特征在于:该刻划头进一步具备朝向该激光点的移动方向前方位置喷射气体的气体喷射部。
【技术特征摘要】
2011.10.14 JP 2011-2271031.一种刻划装置,具备 工作台,其载置脆性材料基板; 刻划头,其对该脆性材料基板进行加热及冷却 '及 移动机构,其使该刻划头相对该工作台移动; 该刻划头具备激光照射部,其对该工作台上的脆性材料基板照射激光光束,形成作为加热区域的激光点;及冷媒喷射部,其朝向该激光点的移动方向后方位置喷射包...
【专利技术属性】
技术研发人员:苏宇航,池田刚史,山本幸司,
申请(专利权)人:三星钻石工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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