固体摄像装置制造方法及图纸

固体摄像装置（1）具备受光部（10）、信号读出部（20）、控制部（30）、包括虚设用光电二极管的虚设用受光部（11、12）、使虚设用光电二极管的接合电容部进行放电的放电机构、及以覆盖受光部（10）的方式设置的闪烁体层（50）。虚设用受光部（11）与受光部（10）的第1行（受光部（10）的上边侧）邻接而配置，在左右方向具有与受光部（10）相同程度的长度。虚设用受光部（12）与受光部（10）的第M行（受光部（10）的下边侧）邻接而配置，在左右方向具有与受光部（10）相同程度的长度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及固体摄像装置。
技术介绍
固体摄像装置也在对X射线等的放射线进行摄像时使用，例如也用于牙科等的医疗用途。此种固体摄像装置具备将分别包括光电二极管(photo diode)的MXN个像素部P1，广P 2维排列成M行N列而成的受光部，以覆盖此受光部的方式设置的闪烁体(scintillator)层，将与在受光部的各像素部中所包括的光电二极管中所产生的电荷的量对应的电压值予以输出的信号读出部，及用以控制受光部及信号读出部等的动作的控制部。此外，在固体摄像装置中，也有受光部、信号读出部及控制部等被形成在半导体基板上的情形。 在此固体摄像装置中，相应于放射线对于闪烁体层的入射而产生闪烁光，且相应于闪烁光对于在受光部的任一个像素部中所包括的光电二极管的入射，而在该光电二极管中产生电荷。然后，从信号读出部输出与在受光部的各像素部中所包括的光电二极管中所产生的电荷的量相对应的电压值。如此一来即获得放射线像。然而，就此种固体摄像装置而言，若穿透闪烁体层的放射线或闪烁光入射至受光部以外的区域(例如，信号读出部或控制部的区域、用于引线接合(wire bonding)的视野(field)区域等本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体摄像装置，其特征为：设M、N为2以上的整数，M＜N，m为1以上M以下的整数，n为1以上N以下的整数，所述固体摄像装置包括：受光部，其中呈M行N列地2维排列有M×N个像素部（P1,1~PM,N），该像素部（P1，1~PM,N）分别包括产生与入射光强度对应的量的电荷的光电二极管及与此光电二极管连接的开关，且所述光电二极管在各像素部（Pm，n）中经由所述开关而连接于读出用配线（LO,n）；闪烁体层，其被设置成覆盖所述受光部，且相应于放射线的入射而产生闪烁光；虚设用受光部，其包括与所述受光部邻接而配置的虚设用光电二极管；信号读出部，其被设置于所述受光部的第1行或第M行的外侧，包括N个积分电路（...

【技术特征摘要】
2007.09.25 JP 2007-2476451.一种固体摄像装置，其特征为 设M、N为2以上的整数，M < N，m为I以上M以下的整数，n为I以上N以下的整数， 所述固体摄像装置包括 受光部，其中呈M行N列地2维排列有MXN个像素部(P1,广PM，N)，该像素部(P1i^Psin)分别包括产生与入射光强度对应的量的电荷的光电二极管及与此光电二极管连接的开关，且所述光电二极管在各像素部(Pm,n)中经由所述开关而连接于读出用配线(Lan)； 闪烁体层，其被设置成覆盖所述受光部，且相应于放射线的入射而产生闪烁光； 虚设用受光部，其包括与所述受光部邻接而配置的虚设用光电二极管； 信号读出部，其被设置于所述受光部的第I行或第M行的外侧，包括N个积分电路(S1Xn)及N个保持电路(H1In),在各积分电路(Sn)中将经过读出用配线(Lan)所输入的电荷...

【专利技术属性】
技术研发人员：森治通，藤田一树，久嶋龙次，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：