一种蝇眼透镜制造技术

本发明专利技术实施例提供了一种蝇眼透镜，应用于接近式曝光机光学系统，它包括第一透镜组和第二透镜组，第一透镜组包括多个透镜且形成第一透镜面，第二透镜组包括多个透镜且形成第二透镜面，第一透镜面，用于将光学系统中的第一平面镜照射过来的宽光束分裂为细光束后，照射到第二透镜面上；第二透镜面，用于将接收到的细光束分散的照射到光学系统中的凹面镜上，离第二透镜面的中心点越近的透镜，其对应的透过率越高；离第二透镜面的中心点越远的透镜，其对应的透过率越低。在本发明专利技术实施例中，由于蝇眼透镜中第二透镜面上不同透镜的透过率不同，使得经蝇眼透镜照射到掩膜板不同区域上的光照度不同，可以在一定程度上提高曝光出的图形尺寸的均一度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学领域，尤其涉及一种蝇眼透镜。
技术介绍
随着显示技术的发展，大尺寸，高品质，低成本的显示器件成为一种发展趋势，那么，对于作为显示器件(例如TFT-LCD显示器件)的主要组成部分之一的彩色滤光片，它的质量直接决定显示器件的显示效果。目前，在制作彩色滤光片时，多采用接近式曝光机光学系统曝光的方式，具体地，如图1所示，前述光学系统除了包括曝光灯101、第一平面镜102、蝇眼透镜103、凹面镜104和第二平面镜105之外，还包括掩膜板106、基板107、曝光区域108以及光刻胶(图1中未/Jn )，在该光学系统中，曝光灯101,主要用于向第一平面镜102发出光束；第一平面镜102,主要用于接收到光束后照射到蝇眼透镜103上；蝇眼透镜103，主要用于将接收的光束分裂为细光束后分散地照射到凹面镜104上；凹面镜104，主要用于将接收到的光束照射到第二平面镜105上；第二平面镜105，主要用于将接收到的光束反射后照射到掩膜板106上。在这里，蝇眼透镜103可以包括第一透镜组和第二透镜组，第一透镜组包括多个透镜且形成第一透镜面；第二透镜组包括多个透镜且形成第二透镜面，并且第一透镜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蝇眼透镜，应用于接近式曝光机光学系统，所述蝇眼透镜包括第一透镜组和第二透镜组，所述第一透镜组包括多个透镜且形成第一透镜面，所述第二透镜组包括多个透镜且形成第二透镜面，所述第一透镜面，用于将所述光学系统中的第一平面镜照射过来的宽光束分裂为细光束后，照射到所述第二透镜面上；所述第二透镜面，用于将接收到的细光束分散的照射到所述光学系统中的凹面镜上，其特征在于，离所述第二透镜面的中心点越近的透镜，其对应的透过率越高；离所述第二透镜面的中心点越远的透镜，其对应的透过率越低。

【技术特征摘要】
1.一种蝇眼透镜，应用于接近式曝光机光学系统，所述蝇眼透镜包括第一透镜组和第二透镜组，所述第一透镜组包括多个透镜且形成第一透镜面，所述第二透镜组包括多个透镜且形成第二透镜面，所述第一透镜面，用于将所述光学系统中的第一平面镜照射过来的宽光束分裂为细光束后，照射到所述第二透镜面上；所述第二透镜面，用于将接收到的细光束分散的照射到所述光学系统中的凹面镜上，其特征在于， 离所述第二透镜面的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎敏，吴洪江，李圭鉉，张继凯，杨同华，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：