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本发明实施例提供了一种蝇眼透镜，应用于接近式曝光机光学系统，它包括第一透镜组和第二透镜组，第一透镜组包括多个透镜且形成第一透镜面，第二透镜组包括多个透镜且形成第二透镜面，第一透镜面，用于将光学系统中的第一平面镜照射过来的宽光束分裂为细光束后...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司授权不得商用。