石墨加热器炉制造技术

本发明专利技术涉及一种石墨加热器炉，尤其涉及一种在炉主体的加热空间部内多级设置水平排列的加热棒的石墨发热体，以在烧制物上形成均匀的温度分布，从而提高烧制物的烧制质量的石墨加热器炉。为了达到上述目的，所述石墨加热器炉包括外壳、位于外壳内的由绝缘体构成的炉主体、以及设置于该炉主体内部的加热空间部并发热的石墨发热体，所述石墨发热体水平排列并多级设置，以将烧制物搁置于设置在炉主体内部的加热空间部中的加热棒之上，所述炉主体的外部周围具备冷却水槽。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种石墨加热器炉，尤其涉及一种在炉体的加热空间部内多级设置水平排列加热棒的发热体，以在烧制物上形成均匀的温度分布，从而提高烧制物的烧制质量的石墨加热器炉。
技术介绍
—般而言,石墨加热器炉(Graphite Furnace)用于LED、电动汽车用电气元件、阴极材料、太阳能电池用结晶类硅半导体结晶、作为结构材料的陶瓷、金属注入铸造产品等的紅彡口 所述石墨加热器炉是烧制炉中的一种，而这样的石墨加热器炉根据结构分为分层式(Batch Type)和槽式(Tunnel Type)。槽式石墨加热器炉根据使烧制物进入该槽式加热器炉内部的方法分为推式(PushType)和棍式(Roller Type)。分层式石墨加热器炉可实现各种烧制条件，从而有利于烧制各种大小和特性的芯片形式的陶瓷部件，但因为快速升温受限，难以达到由陶瓷材料构成的芯片部件的内部电极的稳定化。与此相反，槽式石墨加热器炉通过推杆(Pusher)或棍子(Roller)使烧制物在恒定发热的发热体之间移动烧制，因此，炉体内部的温度和氛围稳定，但难以实现不同的烧制条件。因此，由于分层式石墨加热器炉可实现各种烧制条件，从而有利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨加热器炉，该石墨加热器炉包括外壳(4)、位于该外壳(4)内的由绝缘体(14)构成的炉主体(6)、设置于所述炉主体(6)内部的加热空间部(10)中并发热的石墨发热体(12)，其特征在于，该石墨发热体(12)水平排列并多级设置，以将烧制物搁置于所述炉主体(6)内部的加热空间部(10)中的加热棒(50)之上，所述炉主体(6)的外部周围具备冷却水槽(8)。

【技术特征摘要】
1.一种石墨加热器炉，该石墨加热器炉包括外壳(4)、位于该外壳(4)内的由绝缘体(14)构成的炉主体(6)、设置于所述炉主体(6)内部的加热空间部(10)中并发热的石墨发热体(12)，其特征在于，该石墨发热体(12)水平排列并多级设置，以将烧制物搁置于所述炉主体(6)内部的加热空间部(10)中的加热棒(50)之上，所述炉主体(6)的外部周围具备冷却水槽(8)。2.根据权利要求1所述的石墨加热器炉，其特征在于，所述炉主体(6)和所述冷却水槽(8)之间设置有一定厚度的隔热材料(16)。3.根据权利要求1所述的石墨加热器炉，其特征在于，所述石墨发热体(12)通过设置位于所述加热空间部(10)两侧的支撑杆(20)及在所述支撑杆(20)之间相隔一定间距水平排列的所述加热棒(50)形成一级。4.根据权利要求3所述的石墨加热器炉，其特征在于，所述支撑杆(20)包括基础支撑杆(20a)，该基础支撑杆(20a)通过支撑螺钉(22)设置于所述炉主体(...

【专利技术属性】
技术研发人员：权龙祥，畠山邦广，
申请(专利权)人：喏莫里克株式会社，权龙祥，
类型：发明
国别省市：