【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及包含被转印了期望的光学功能面的树脂部分的光学元件的制造装置 以及制造方法。
技术介绍
以往,存在对将树脂夹在成形模间进行成形的装置进行成形模的位移控制的技 术。在这样的技术中,利用驱动轴的位置或速度的控制、定时器(timer)的时间控制、或者 温度控制等来控制作用于成形模的驱动力。此外,在专利文献I中公开了以下方法由伺服电机(servo motor)进行成形模的 驱动,进行该伺服电机的转矩控制,以成为成形模的自重被消除了的伪浮动状态的方式进 行控制。现有技术文献专利文献专利文献1:日本国公开专利公报“特开2009-190250号公报(2009年8月27日公开)”; 专利文献2 :日本国公开专利公报“特开2008-183827号公报(2008年8月14日公开)”。专利技术要解决的问题可是,在利用驱动轴的位置或速度的控制、定时器的时间控制、或者温度控制等来控制 作用于成形模的驱动力的方法中,若欲缩短生产节拍(tact)来提高生产率,则难以提取成 形条件。此外,成形条件的提取的困难性越是在像晶片级透镜(wafer-level lens)那样对 大面积进行 ...
【技术保护点】
一种光学元件的制造装置,在所述制造装置中,将树脂夹在一对成形模之间进行成形,其特征在于,具备:驱动部,定位所述成形模的位置;压力检测部,检测从所述树脂作用于所述成形模的压力;以及控制部,在由所述压力检测部检测到作用于所述成形模的压力变为负压的时间点使所述驱动部驱动来控制所述成形模的位置,使得在将作用于所述成形模的压力增加到规定的正压之后,维持所述正压。
【技术特征摘要】
2011.09.30 JP 2011-2183681.一种光学元件的制造装置,在所述制造装置中,将树脂夹在一对成形模之间进行成形,其特征在于,具备驱动部,定位所述成形模的位置;压力检测部,检测从所述树脂作用于所述成形模的压力;以及控制部,在由所述压力检测部检测到作用于所述成形模的压力变为负压的时间点使所述驱动部驱动来控制所述成形模的位置,使得在将作用于所述成形模的压力增加到规定的正压之后,维持所述正压。2.根据权利要求1所述的制造装置,其特征在于,所述光学元件是在具有光学功能的基材上形成被转印了期望的光学功能面的合成树脂层而成的复合光学元件,所述成形模的一个是所述基材。3.一种光学元件的制造方法,在所述制造方法中,将树脂夹在一对成形模之间进行成形,其特征在于,包含第一工序,对所述成形模的一个涂敷树脂;第二工序,使另一个成形模与所述树脂接触,使所述树脂固化直到所述树脂的温度到达凝胶化点;以及第三工序,在所述树脂的温度到达了凝胶化点的时间点,一边控制所述成形模的位置,一边使所述树脂固化,以使进行固化收缩的树脂作用于所述成形模的压力维持规定值。4.根据权利要求3所述的制造方法,其特征在于,在所述第二工序的期间,监视从所述树脂作用于所述成形模的压力,在检测到作用于所述成形模的压力变为负压的时间点,从所述第二工序切...
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