激光铣削方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种利用激光束（２０７）在一个固定材料中产生铣削结构的方法，其中一个微微秒激光器（２０５）提供光能的短脉冲，以产生所需曝光段，其中激光束（２０７）以可变速率运动在材料上进行铣削，激光束（２０７）的运动导致在材料上进行铣削，激光束刀具路径引导铣削加工以产生高质量和可重复的铣削孔，并且将如何测量这三个量的经验作为反馈返回到激光器系统（２００）。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及利用脉冲光源的材料烧蚀，具体涉及激光钻孔和激光铣削。
技术介绍
自从专利技术激光以来，人们一直在研究通过脉冲光源进行材料烧蚀。1982年发表的利用紫外线(UV)受激准分子激光辐射蚀刻的聚合物的报告激发了对显微机械加工方法的广泛研究。从那时起，主要因为可以使用激光进行非常小的零件的钻孔、铣削和复制，这个领域中的科学和工业研究一直在快速发展。超快激光器产生具有大约从10-11秒(10微微秒)至10-14秒(10毫微微秒)持续时间的强激光脉冲。短脉冲激光器产生具有大约从10-10秒(100微微秒)至10-11秒(10微微秒)持续时间的强激光脉冲。超快激光器在医学、化学和通信中的各种潜在应用正在变成现实。对于各种材料的铣削或钻孔，这些激光器也是有用的工具。它们可以轻易地钻出小到数微米，甚至亚微米尺寸的孔。也可以在硬质材料中钻出具有高纵横比的孔，例如涡轮叶片中的冷却通道、喷墨打印机中的喷嘴或印刷电路板中的通孔。能够钻出小到微米级直径的孔是许多高科技制造工业中的基本要求。同时具有高分辨率、高精确度、高速度和高灵活性使得激光加工在包括集成电路、硬盘、印刷设备、显示器、互联器和电信设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种执行激光铣削的方法，包括：　　　　确定用激光从工件的暴露表面烧蚀一层材料的刀具路径；　　　　　根据刀具路径用激光从工件的暴露表面烧蚀一层材料，　　　　其中刀具路径定义了一个实际上恒定的弧线速度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：郑震雄，刘新兵，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]