摩擦副零件表面形貌的激光微造型方法及设备技术

本发明专利技术涉及表面微造型技术，特指一种用于摩擦副零件表面形貌的激光微造型方法及设备。将待加工工件固定于主轴上，随主轴做旋转运动；由安装在主轴同轴方向的高精度增量编码器输出反映工件转过位置的脉冲信号，经编码器计数卡四倍频、计数处理，再由工控机分频后输出调Ｑ开关控制信号，控制激光器输出单脉冲激光；激光束通过反射镜反射经激光头聚焦照射到工件表面；由四轴运动控制卡控制二维导轨利立式导轨的移动，使激光束和工件表面产生进给运动；借助于Ｄ／Ａ卡和编码器计数卡对主轴和激光器的协同控制以及工件与激光束产生的进给运动来完成工件的表面微造型。本发明专利技术具有经济、高效、准确，可以加工各种形状工件等一系列优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及表面微造型技术(Surface Texturing)，特指一种用于摩擦副零件表面形貌的激光微造型方法及设备。
技术介绍
近年来，随着对物体表面，特别是对重要摩擦副表面性能的要求越米越高，表面微造型技术(Surface Texturing)以其优异的改善摩擦性能的特点得以快速发展，尤其是对诸如机械密封、活塞环、气缸套以及推力轴承的表面微造型加工的研究更成为近期热点。作为表面微造型技术的根本，表面微造型加工手段的发展与应用决定了该技术的成功与否。加工方法的优劣，体现在对加工参数的控制能力以及加工成本的高低等方面。目前，普遍使用的造型方法主要有激光表面微造型技术(laser surface texturing，LST)、反应离子蚀刻技术(Reactiveion etching，RIE)、LIGA技术、UV光刻技术(UV Photolithography)。但是，后3种方法普遍存在着适用面窄、加工成本高、效率低或者会对环境造成污染等问题。如美国专利U.S.Pat.No.6391216公开了一种反应离子蚀刻方法和装置，该方法仅适用于磁性材料的表面微造型，且效率不高，难以满足批量本文档来自技高网...

【技术保护点】
摩擦副零件表面形貌的激光微造型方法，其特征在于：将待加工工件固定于主轴（１４）上，随主轴（１４）做旋转运动；由安装在主轴（１４）同轴方向的高精度增量编码器输出反映工件转过位置的脉冲信号，经编码器计数卡四倍频、计数处理，再由工控机分频后输出调Ｑ开关（２４）控制信号，控制激光器（２）输出单脉冲激光；激光束通过反射镜（２９）反射经激光头（６）聚焦照射到工件表面；由四轴运动控制卡控制二维导轨（１６）（１８）和Ｚ向立式导轨（１０）的移动，使激光束和工件表面产生进给运动；借助于Ｄ／Ａ卡和编码器计数卡对主轴和激光器的协同控制以及工件与激光束产生的进给运动来完成工件的表面微造型。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王霄，钱振华，蔡兰，符永宏，袁润，张永康，刘会霞，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]