清洁气体送风单元制造技术

提供一种清洁气体送风单元，能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够良好地进行基板收纳器的清洗。在相对于基板收纳器（K）能够装卸地安装的清洁气体送风单元（J）中，基板收纳器（K）是由保管装置保管的收纳器，上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元（F）和一对遮蔽板（10），该风扇过滤器单元（F）将基板收纳器（K）的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板（10）覆盖基板收纳器（K）的四个侧面中除了清洁气体送风面以及排气用面之外的两个侧面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装的清洁气体送风单元。
技术介绍
上述这种清洁气体送风单元例如安装在由保管装置保管的基板收纳器上，抑制尘埃附着在基板收纳器中收纳的基板上。S卩，基板收纳器以收纳了在液晶显示器或等离子显示器中使用的玻璃基板等基板的状态收纳在保管装置的收纳部中。并且在相对于收纳在基板收纳器中的基板进行蚀刻及 清洗等诸多处理时，由保管装置所具备的运送装置将基板收纳器从收纳部向基板运出运入部运送，相对于从基板收纳器中取出的基板进行诸多处理。而且，将实施了处理后的基板再次收纳在基板收纳器中，由运送装置将收纳了基板的基板收纳器从基板运入运出部向收纳部运送。这样，在由保管装置保管着基板收纳器的状态下进行相对于收纳在基板收纳器中的基板的处理。此时，由于尘埃有可能附着在由基板收纳器保持的基板上，所以在基板收纳器上安装清洁气体送风单元。作为清洁气体送风单元的以往例子，清洁气体送风单元作为具备送入清洁气体的风扇过滤器单元的板状的框体构成，并相对于基板收纳器能够装卸地安装(例如参照专利文献I)。在该专利文献I中，基板收纳器构成为横躺姿势的方筒状。清洁气体送风单元将基板收纳器的处于开口状态的一对侧面中一方的侧面作为清洁气体送风面，并且将另一方的侧面作为排气用面，沿着水平方向从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体。该清洁气体送风单元以位于成为清洁气体送风面的侧面的状态安装在基板收纳器上。作为清洁气体送风单元其它的以往例子，清洁气体送风单元构成为将具备送入清洁气体的风扇过滤器单元的板状的送风部以直立姿势设置在载置基板收纳器的板状的载置部的一端部的形态(例如参照专利文献2)。在该专利文献2中，基板收纳器构成为横躺姿势的方筒状。清洁气体送风单元的送风部将基板收纳器的处于开口状态的一对侧面中一方的侧面作为清洁气体送风面，并且将另一方的侧面作为排气用面，沿着水平方向从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体。也就是说，基板收纳器以使成为清洁气体送风面的侧面与清洁气体送风单元的送风部对向的状态载置在清洁气体送风单元的载置部上。专利文献I日本国特开2010-89835号公报， 专利文献2日本国特开2011-91270号公报。基板收纳器每当经过适当期间等要进行清洗等适时清洗，此时，清洁气体送风单元与基板收纳器分离。S卩，在对基板收纳器进行清洗的情况下，一般是使用水溶液等清洗用的液体进行清洗。由于在清洁气体送风单元上设有具备电装零部件的风扇过滤器单元，所以为了抑制清洁气体送风单元被清洗用的液体打湿，要使清洁气体送风单元与基板收纳器分离。这样，基板收纳器在分离了清洁气体送风单元后的状态下进行适时清洗。此时，上述专利文献I以及专利文献2所记载的基板收纳器由于四个侧面中除了与清洁气体送风面和排气用面相对应的侧面之外的两个侧面成为被遮蔽的状态，所以有可能难以适当进行基板收纳器的清洗。也就是说，横躺姿势的方筒状基板收纳器由于四个侧面中除了与清洁气体送风面和排气用面相对应的侧面之外的两个侧面成为被遮蔽的状态，所以能够使来自清洁气体送风单元的清洁气体以抑制了向外部泄漏的状态从清洁气体送风面适当地朝向排气用面流动。但是，在对基板收纳器进行清洗之际，有可能因被遮蔽的 侧面妨碍了清洗用的液体向基板收纳器的内部流动等而难以适当地进行基板收纳器的清洗。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述实际状况而提出的，其目的在于提供一种清洁气体送风单元，能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够良好地进行基板收纳器的清洗。本专利技术的清洁气体送风单元相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装，其中，上述基板收纳器是由保管装置保管的收纳器，该保管装置具备收 纳上述基板收纳器的多个收纳部，相对于上述基板收纳器进行上述基板的取出和收纳的基板运入运出部，以及在上述收纳部与上述基板运入运出部之间运送上述基板收纳器的运送装置，上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元和一对遮蔽板，该风扇过滤器单元将上述基板收纳器的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从上述清洁气体送风面朝向上述排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板覆盖上述基板收纳器的四个侧面中除了上述清洁气体送风面以及上述排气用面之外的两个侧面。S卩，装备在清洁气体送风单元上的风扇过滤器单元将基板收纳器的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该侧面对向的侧面作为排气用面，从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体。并且由于装备在清洁气体送风单元上的一对遮蔽板覆盖基板收纳器的四个侧面中除了清洁气体送风面和排气用面之外的两个侧面，所以即使基板收纳器的四个侧面中除了清洁气体送风面和排气用面之外的两个侧面形成为开口状态，也能够以抑制了清洁气体向外部泄漏的状态使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动。这样，能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够使基板收纳器的四个侧面中除了清洁气体送风面和排气用面之外的两个侧面为开口状态。因此，在分离了清洁气体送风单元的状态(取下的状态)下对基板收纳器进行清洗之际，能够良好地进行使清洗用的液体通过该成为开口状态的侧面恰当地向基板收纳器的内部流动等基板收纳器的清洗。总而言之，根据上述的结构，能够提供一种能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够良好地进行基板收纳器的清洗的清洁气体送风单元。在本专利技术的清洁气体送风单元的实施方式中，优选上述风扇过滤器单元装配在与上述清洁气体送风面相对应处。S卩，由于装配在与清洁气体送风面相对应处的风扇过滤器单元从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体，所以能够谋求结构的简单化，恰当地送入清洁气体。也就是说，在从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体之际，例如可考虑将风扇过滤器单元装配在清洁气体送风单元中与基板收纳器的上表面相对应处等与清洁气体送风面不同之处，设置将来自该风扇过滤器单元的清洁气体向清洁气体送风面引导的送风通道的结构。但是，在这种结构的情况下，由于设置送风通道，整体结构复杂化，并且来自风扇过滤器单元的清洁气体在送风通道内流动之际有可能因失速等而难以恰当地送入清洁气体。相对于此，在将风扇过滤器单元装配在与清洁气体送风面相对应处的情况下，由于风扇 过滤器单元相对于清洁气体送风面直接送入清洁气体，所以能够谋求结构的简单化，适当地送入清洁气体。总而言之，根据上述的结构，能够提供一种能够谋求结构的简单化，并且能够恰当地送入清洁气体的清洁气体送风单元。在本专利技术的清洁气体送风单元的实施方式中，优选还具备覆盖上述排气用面的排气用板状体，在上述排气用板状体上分散成平面状地形成有多个排气用的透气孔。即，由于从清洁气体送风面朝向排气用面送入的清洁气体以通过形成在覆盖排气用面的排气用板状体上的透气孔向外部排出的状态流动，所以能够谋求运行成本的降低。也就是说，在基板收纳器的排气用面为开口状态时，为了抑制尘埃从该开口状态的侧面(排气用面)向基板收纳器的内部侵入，需要增加清洁气体的风力。其结果，由于风扇过滤器单元的驱动能量的增加，运行成本增加。相对于此，若用形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洁气体送风单元，相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装，其特征在于，上述基板收纳器是由保管装置保管的收纳器，该保管装置具备：收纳上述基板收纳器的多个收纳部，相对于上述基板收纳器进行上述基板的取出和收纳的基板运入运出部，以及在上述收纳部与上述基板运入运出部之间运送上述基板收纳器的运送装置，上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元和一对遮蔽板，该风扇过滤器单元将上述基板收纳器的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从上述清洁气体送风面朝向上述排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板覆盖上述基板收纳器的四个侧面中除了上述清洁气体送风面以及上述排气用面之外的两个侧面。

【技术特征摘要】
2011.09.22 JP 2011-2075631.一种清洁气体送风单元，相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装，其特征在于， 上述基板收纳器是由保管装置保管的收纳器，该保管装置具备收纳上述基板收纳器的多个收纳部，相对于上述基板收纳器进行上述基板的取出和收纳的基板运入运出部，以及在上述收纳部与上述基板运入运出部之间运送上述基板收纳器的运送装置， 上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元和一对遮蔽板，该风扇过滤器单元将上述基板收纳器的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从上述清洁气体送风面朝向上述排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板覆盖上述基板收纳器的四个侧面中除了上...

【专利技术属性】
技术研发人员：中尾多通夫，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：