清洁气体送风单元制造技术

提供一种清洁气体送风单元，能够使清洁气体从清洁气体送风面恰当地朝向排气用面流动，并且能够良好地进行基板收纳器的清洗。在相对于基板收纳器（K）能够装卸地安装的清洁气体送风单元（J）中，基板收纳器（K）是由保管装置保管的收纳器，上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元（F）和一对遮蔽板（10），该风扇过滤器单元（F）将基板收纳器（K）的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从清洁气体送风面朝向排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板（10）覆盖基板收纳器（K）的四个侧面中除了清洁气体送风面以及排气用面之外的两个侧面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装的清洁气体送风单元。
技术介绍
上述这种清洁气体送风单元例如安装在由保管装置保管的基板收纳器上，抑制尘埃附着在基板收纳器中收纳的基板上。S卩，基板收纳器以收纳了在液晶显示器或等离子显示器中使用的玻璃基板等基板的状态收纳在保管装置的收纳部中。并且在相对于收纳在基板收纳器中的基板进行蚀刻及 清洗等诸多处理时，由保管装置所具备的运送装置将基板收纳器从收纳部向基板运出运入部运送，相对于从基板收纳器中取出的基板进行诸多处理。而且，将实施了处理后的基板再次收纳在基板收纳器中，由运送装置将收纳了基板的基板收纳器从基板运入运出部向收纳部运送。这样，在由保管装置保管着基板收纳器的状态下进行相对于收纳在基板收纳器中的基板的处理。此时，由于尘埃有可能附着在由基板收纳器保持的基板上，所以在基板收纳器上安装清洁气体送风单元。作为清洁气体送风单元的以往例子，清洁气体送风单元作为具备送入清洁气体的风扇过滤器单元的板状的框体构成，并相对于基板收纳器能够装卸地安装(例如参照专利文献I)。在该专利文献I中，基板收本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洁气体送风单元，相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装，其特征在于，上述基板收纳器是由保管装置保管的收纳器，该保管装置具备：收纳上述基板收纳器的多个收纳部，相对于上述基板收纳器进行上述基板的取出和收纳的基板运入运出部，以及在上述收纳部与上述基板运入运出部之间运送上述基板收纳器的运送装置，上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元和一对遮蔽板，该风扇过滤器单元将上述基板收纳器的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从上述清洁气体送风面朝向上述排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板覆盖上述基板收纳器的四...

【技术特征摘要】
2011.09.22 JP 2011-2075631.一种清洁气体送风单元，相对于将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态收纳的长方体状的基板收纳器能够装卸地安装，其特征在于， 上述基板收纳器是由保管装置保管的收纳器，该保管装置具备收纳上述基板收纳器的多个收纳部，相对于上述基板收纳器进行上述基板的取出和收纳的基板运入运出部，以及在上述收纳部与上述基板运入运出部之间运送上述基板收纳器的运送装置， 上述清洁气体送风单元具备风扇过滤器单元和一对遮蔽板，该风扇过滤器单元将上述基板收纳器的四个侧面中的一个侧面作为清洁气体送风面，并且将与该清洁气体送风面对向的侧面作为排气用面，从上述清洁气体送风面朝向上述排气用面送入清洁气体，该一对遮蔽板覆盖上述基板收纳器的四个侧面中除了上...

【专利技术属性】
技术研发人员：中尾多通夫，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：