微细圆柱群电极电化学腐蚀加工方法技术

本发明专利技术涉及一种微细圆柱群电极电化学腐蚀加工方法，属电解加工领域。该方法包括以下步骤：（１）采用电火花线切割或微铣削工艺制作带有多个单电极的群电极毛坯；（２）采用有限元法，设计、制作电化学腐蚀工具阴极；（３）群电极毛坯作为电化学腐蚀阳极，浸入电解液中，使得毛坯上各单个柱体完全处于液面以下；将电化学腐蚀阴、阳极相向竖直平行放置；（４）通电，对群电极毛坯进行电化学腐蚀加工，采用恒压加工和电荷法分别控制群电极的形状和加工尺寸。本发明专利技术的方法具有加工设备和控制方式简单，加工效率、加工质量高，制造成本低的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的，属电解加工

技术介绍
微细阵列群孔作为一种典型的微细结构在航空航天、精密仪器、化纤等领域有着广泛的应用，如高速打印机喷嘴板、光纤连接器、化纤喷丝板、微过滤网以及电子显微镜光栅等。对于微细群孔结构的加工而言，微细电加工相对于常规钻削加工具有无机械切削力作用，加工精度和加工效率高，可在薄壁、弹性件等低刚度工件上加工等优点，因此其在微细群孔结构的加工发面具有广泛的应用前景。微细圆柱群电极的加工是实现群孔结构微细电加工的关键环节。微细圆柱群电极是指由尺寸在微米至纳米级的多个圆柱电极组合在一起所形成的整体电极，可作为微细电火花、微细电解加工中的工具电极；同时微细群圆柱类零件也是微型机械和微机电系统的重要组成部件。常用金属微细圆柱群电极的加工方法包括LIGA和准LIGA技术、微细电火花反拷加工法、多孔氧化铝模板法等。采用LIGA技术制作微细群电极的工艺流程主要包括涂胶-X射线深度光刻-显影-微电铸成型-去胶等步骤，制作的微细群电极具有精度高、深宽比大等优点，但由于LIGA技术采用电铸工艺，不能制备钨、硬质合金材料的电极，同时该技术需要同步辐射光源和特制的掩膜板，成本极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微细圆柱群电极电化学腐蚀加工方法，其特征在于包括以下步骤：（１）、根据所需的单排微细圆柱群电极设计群电极毛坯尺寸参数，群电极毛坯上单个电极截面形状均为四边形，其中群电极毛坯边长ｄ≥２～３Ｒ，长度Ｌ、单个电极间距Ｄ和单个电极高度ｈ ↓［０］与所需的单排微细圆柱群电极尺寸参数一致；（２）、按上步要求加工单电极的群电极毛坯；（３）、工具阴极呈平板状，一侧表面带有半圆柱凸台，工具阴极主要参数阴极长度Ｓ、阴极上半圆柱凸台半径Ｒ、阴阳极间距ｆ是采用电化学腐蚀加工 电场的有限元分析方法优化设计得到的，确保电化学腐蚀工件阳极上的电流密度均匀分布；（４）、制作电化...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱荻，王磊，曲宁松，王明环，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]