【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种全固态四次谐波紫外激光器。
技术介绍
在当前国际背景下，激光器在材料加工等方面的应用越来越广泛。而波长更短的·紫外激光相对于其他波长的激光器具有更加明显的优势，如具有高的光子能量，优良的材料吸收特性、更好的聚焦能力和“冷加工”等，因此紫外激光器在精密材料微加工、光刻等领域有更广泛的应用前景。目前全球对紫外激光器的需求日益增加，应用领域也在不断扩大。目前，获得脉冲四次谐波激光器主要采用腔外倍频技术。这种方法将二次谐波通过一个聚焦系统和四倍频晶体或采用大功率的基波依次经过二倍频晶体、四倍频晶体的技术路线获得四次谐波紫外激光。其特点是二次谐波功率密度大，易引起晶体表面损坏。为弥补这一缺点，需要提高晶体表面镀膜质量；或采用晶体自动移动的技术，即在使用一段时间后对晶体进行换位置以实现其长时间工作。该技术对自动移动装置有严格要求，整个系统复杂、价格昂贵。深圳大族激光公司第CN100421316C号中国专利利用多次反射法获得脉冲四次谐波紫外激光。这种方法利用腔内倍频获得的二次谐波在四倍频晶体上来回往返倍频，产生高功率四次谐波紫外激光输出，这种方法的问题是二次...
【技术保护点】
一种全固态四次谐波紫外激光器，其特征在于：产生二次谐波和四次谐波的元件在光路上依次包括中间镜一（4）、二倍频晶体（5）、中间镜二（6）、四倍频晶体（7）和输出镜（8），所述输出镜（8）为平凹镜片，其曲率半径大于中间镜二（6）和输出镜（8）之间的距离，且凹面正对四倍频晶体（7），所述中间镜一（4）镀基波波长高透和二次谐波波长高反膜，所述中间镜二（6）镀基波、四次谐波波长高反和二次谐波波长高透膜，所述输出镜（8）镀二次谐波波长高反和四次谐波波长高透膜；利用在端全反镜（1）和中间镜一（4）之间谐振由激光增益介质（2）产生的高功率密度基波作用到二倍频晶体（5）上产生二次谐波；所述二...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张戈，翟苏亚，魏勇，陈玮冬，庄凤江，
申请(专利权)人：中国科学院福建物质结构研究所，
类型：发明
国别省市：
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