【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于激光领域，特别涉及一种腔外四倍频紫外激光器。
技术介绍
由于紫外激光具有高分辩和材料强吸收等特点，近些年在国际上迅速发展。波长为355nm的Nd: YV04Nd: YAG激光加工机已主导了精细加工，特别是多层、高密度印刷电路板的精密打孔设备市场，在特种材料加工、集成电路分析等应用上，也显示出巨大优势。然而波长更短的四次谐波紫外激光(如266nm)相对于三次谐波(如355nm)的紫外激光器具有更加明显的优势，如具有高的光子能量，更加优良的材料吸收特性和更好的聚焦能力等，因此开发四次谐波(如266nm)紫外激光器日益得到各国重视。常用的四次谐波紫外激光的产生方法主要是腔外进行的。如专利US 6249371。利用一台红外激光器作为光源，发射的红外激光作为基波入射到二倍频非线性晶体上产生倍频光，此倍频光经聚焦后入射到四倍频非线性晶体上产生四倍频激光输出。二次谐波和四次谐波不会对红外激光器产生影响，因此这种方法产生的四次谐波输出较稳定，易于调试。然而这种腔外倍频是单程行为，倍频光一次性经过四倍频晶体，未转换为四次谐波的倍频光全部被浪费掉，而且由于聚焦后的倍频...
【技术保护点】
一种腔外四倍频激光器，包括红外激光器（1）、正弯月形透镜一（2）、二倍频非线性晶体（3）、正弯月形透镜二（4）、四倍频非线性晶体（5）和平凹输出镜（6），其特征在于：所述的正弯月形透镜一（2）的凹面（2?2）、正弯月形透镜二（4）的凹面（4?2）和平凹输出镜（6）的凹面的曲率半径分别设计成等于所述红外激光器发射的红外基波依次传输至正弯月形透镜一（2）的凹面（2?2）、正弯月形透镜（4）的凹面（4?2）和平凹输出镜（6）的凹面所在位置时红外基波的等相位面曲率半径；所述红外激光器（1）发射的红外激光经过二倍频非线性晶体（3）后产生二次谐波，产生的二次谐波经过四倍频非线性晶体（5...
【技术特征摘要】
1.一种腔外四倍频激光器，包括红外激光器(I)、正弯月形透镜ー(2)、二倍频非线性晶体(3)、正弯月形透镜ニ(4)、四倍频非线性晶体(5)和平凹输出镜(6)，其特征在干:所述的正弯月形透镜ー(2)的凹面(2-2)、正弯月形透镜ニ(4)的凹面(4-2)和平凹输出镜(6)的凹面的曲率半径分别设计成等于所述红外激光器发射的红外基波依次传输至正弯月形透镜ー(2)的凹面(2-2)、正弯月形透镜(4)的凹面(4-2)和平凹输出镜(6)的凹面所在位置时红外基波的等相位面曲率半径；所述红外激光器(I)发射的红外激光经过二倍频非线性晶体(3)后产生二次谐波，产生的二...
【专利技术属性】
技术研发人员：翟苏亚，张戈，陈玮东，魏勇，庄凤江，
申请(专利权)人：中国科学院福建物质结构研究所，
类型：发明
国别省市：
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