【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种配向微尘清洁装置,其特征在于,包括:载物台,用于装载基板;摩擦辊,设于所述载物台上方;吸尘装置,设在所述摩擦辊侧方,通过产生的吸附力使所述摩擦辊在打磨过程中产生的微尘被从所述基板表面、配向布和环境中吸除;吹尘装置,设在所述摩擦辊另一侧方,通过产生的吹力使所述摩擦辊在打磨过程中产生的微尘被从所述基板表面和配向布吹除。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:钮万和,
申请(专利权)人:昆山天卓贸易有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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