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本实用新型涉及一种配向微尘清洁装置，包括：载物台，用于装载基板；摩擦辊，设于所述载物台上方；吸尘装置，装置设在所述摩擦辊侧方，通过产生的吸附力使所述摩擦辊在打磨过程中产生的微尘被从所述基板表面、配向布和环境中吸除；吹尘装置，装置设在所述摩擦...
该专利属于昆山天卓贸易有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山天卓贸易有限公司授权不得商用。

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