【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及准分子激光器，特别是一种窄线宽准分子激光器，结构紧凑，装调简单，腔内损耗小增益高，可以同时获得窄线宽和较高的输出能量指标。
技术介绍
窄线宽的准分子激光器是目前半导体光刻的主要激光光源。商业光刻机中的光谱线宽压窄主要是采用棱镜扩束系统和紫外光栅的组合模块。然而为获得窄线宽激光，往往需要使用多个棱镜，如在先技术中的四个棱镜。光路复杂，装调困难而且大大降低了输出能量。另一方面，在先技术中把紫外标准具放置在激光腔内可以获得很窄的线宽，但是由于激光束在紫外标准具内的多次反射，能量密度高，紫外标准具 易被损伤，因此只适宜于低脉冲能量运转。
技术实现思路
本专利技术的目的在于公开一种窄线宽准分子激光器，该激光器具有结构紧凑，装调简单，腔内损耗小增益高，可以同时获得窄线宽和较高的输出能量指标。本专利技术的技术解决方案如下一种窄线宽准分子激光器，其特点在于由棱镜扩束系统、紫外光栅、紫外标准具、放电腔和耦合输出镜组成，上述各部分的位置关系如下准分子激光在放电腔内受到激励，经棱镜扩束系统和紫外光栅进行线宽压窄，窄线宽激光在紫外光栅和输出耦合镜为腔镜的谐振腔内振荡放大后，从...
【技术保护点】
一种窄线宽准分子激光器，其特征在于该激光器由棱镜扩束系统（1）、紫外光栅（2）、紫外标准具（3）、放电腔(4)和耦合输出镜(5)组成，上述各部分的位置关系如下：准分子激光在放电腔内(4)受到激励，经棱镜扩束系统(1)和紫外光栅(2)进行线宽压窄，窄线宽激光在紫外光栅(2)和输出耦合镜(5)为腔镜的谐振腔内振荡放大后，从所述的输出耦合镜(5)方向经垂直于光路放置的紫外标准具（3）输出，所述的紫外光栅(2)的激光入射角与其衍射角相同。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：袁志军，张海波，周军，楼祺洪，魏运荣，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。